[實用新型]光刻膠生產設備自動清洗裝置

有效

• 申請號: 202022581366.6
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN213793321U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 王振強
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: B08B9/087
• 分類號: B08B9/087;B08B9/093
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董成

本實用新型涉及光刻膠設備技術領域，且公開了光刻膠生產設備自動清洗裝置，包括清洗液存儲箱和承重板，所述清洗液存儲箱頂部的一側設有進液口，所述清洗液存儲箱頂部的一側固定連接有液體泵，所述液體泵的進水口固定連接有進水管，且進水管的另一端貫穿清洗液存儲箱的頂部并延伸至清洗液存儲箱內腔的底端。該光刻膠生產設備自動清洗裝置，通過電動伸縮桿二的設置，電動伸縮桿二的伸縮可以改變與之相固定連接的刷子的位置，使刷子上的刷毛可以與調配釜的內壁相接觸，便于該裝置刷洗調配釜的內壁，彈簧管的長度可以隨著電動伸縮桿一長度的改變而發生改變，便于液體泵把清洗液輸送至圓管內。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠設備技術領域，具體為光刻膠生產設備自動清洗裝置。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用；光刻膠又稱為光致抗蝕劑，是由樹脂、增光劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。

光刻膠在生產時需要用到調配釜，調配釜在使用后需要進行清洗，現有的調配釜的清洗方法是人工進行清洗，人工清洗的清洗效率低，清洗效果不好，且調配釜內殘留的液體會對人體健康造成一定的影響。

實用新型內容

針對現有光刻膠生產設備清洗方式的不足，本實用新型提供了光刻膠生產設備自動清洗裝置，具備可以自動對調配釜的內壁進行清洗，清洗效率高等的優點，解決了上述背景技術中提出的問題。

本實用新型提供如下技術方案：光刻膠生產設備自動清洗裝置，包括清洗液存儲箱和承重板，所述清洗液存儲箱頂部的一側設有進液口，所述清洗液存儲箱頂部的一側固定連接有液體泵，所述液體泵的進水口固定連接有進水管，且進水管的另一端貫穿清洗液存儲箱的頂部并延伸至清洗液存儲箱內腔的底端，所述液體泵的出水口固定連接有出水管，所述出水管的另一端固定連接有接頭一，所述承重板的中部設有活動槽，所述活動槽頂部的兩側均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的頂部與固定套底部的底部相固定連接，所述固定套一側的內腔固定套接有電動伸縮桿一，所述電動伸縮桿一的底端通過活動槽延伸至承重板的另一側，所述電動伸縮桿一的另一端與活動槽相活動連接，所述電動伸縮桿一的底部固定連接有圓管，所述圓管的底部固定連接有動力箱，所述動力箱的底部固定連接有支撐塊，所述支撐塊的側壁上均固定連接有電動伸縮桿二，電動伸縮桿二的另一端固定連接有刷子，所述支撐塊的底部和刷子的外側固定連接有刷毛。

優選的，所述清洗液存儲箱的一側鑲嵌有透明玻璃。

優選的，所述固定套另一側的內腔內固定套接有彈簧管，所述彈簧管的頂部固定連接有與接頭一相適配的接頭二，所述彈簧管的底部與圓管的一側相固定連接，且所述彈簧管的底端延伸至圓管的內腔，所述彈簧管與活動槽相活動連接。

優選的，所述圓管底端的側壁上均勻設有出液孔。

優選的，所述動力箱的內腔固定連接有馬達，所述馬達的輸出軸末端貫穿動力箱的底部并延伸至動力箱的外側，且所述馬達的輸出軸與動力箱的底部相活動連接，所述馬達的輸出軸末端與支撐塊相固定連接。

優選的，所述刷子可彎折，所述承重板的長度大于調配釜的進料口直徑，所述承重板頂部的兩側均固定連接有手環，所述承重板底部的一側固定連接有限位板。

與現有光刻膠生產設備清洗方式對比，本實用新型具備以下有益效果：

1、該光刻膠生產設備自動清洗裝置，通過電動伸縮桿二的設置，電動伸縮桿二的伸縮可以改變與之相固定連接的刷子的位置，使刷子上的刷毛可以與調配釜的內壁相接觸，便于該裝置刷洗調配釜的內壁，通過彈簧管的設置，彈簧管的長度可以隨著電動伸縮桿一長度的改變而發生改變，便于液體泵把清洗液輸送至圓管內。