[實用新型]一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備

有效

• 申請號: 202022565276.8
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN213150737U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 王成
• 申請（專利權）人: 江西天漪半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 石紅麗

1.一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，包括箱體(1)，所述箱體(1)的底部四角均設置有移動輪，其特征在于，所述箱體(1)的底部內壁一側設置有清潔箱(2)，所述清潔箱(2)的頂部設置有開口，所述箱體(1)的兩側內壁上滑動安裝有同一個支撐桿(5)，所述箱體(1)的頂部內壁上設置有電動推桿(7)的頂端，所述支撐桿(5)上設置有固定板(6)，所述電動推桿(7)的底端與固定板(6)的頂側固定連接，所述固定板(6)的底側設置有低速電機(8)，所述低速電機(8)的輸出軸上設置有支撐板(9)，所述支撐板(9)的底側設置有多個豎桿的頂端，多個豎桿的底端固定安裝有同一個托板(10)，且托板(10)上開設有多個通過孔，所述清潔箱(2)的一側內壁上轉動安裝有第一軸(12)的一端，所述第一軸(12)的另一端延伸至清潔箱(2)的一側并固定套設有蝸輪(13)，所述第一軸(12)的外側設置有多個攪拌桿，且多個攪拌桿上均設置有攪拌齒，所述箱體(1)的底部內壁另一側設置有電機(11)，所述清潔箱(2)的一側固定安裝有第一板(14)，所述第一板(14)上轉動安裝有第二軸(15)，所述第二軸(15)的頂端固定套設有第一錐輪(16)，所述第二軸(15)的底端延伸至第一板(14)的下方并與電機(11)的輸出軸固定連接，所述第二軸(15)的外側開設有螺旋齒，所述螺旋齒與蝸輪(13)相嚙合，所述清潔箱(2)的頂部一側固定安裝有第二板(17)，所述第二板(17)上轉動安裝有第三軸(18)，所述第三軸(18)的一端固定套設有第二錐輪(19)，所述第一錐輪(16)與第二錐輪(19)相嚙合，所述第三軸(18)的另一端延伸至第二板(17)的一側并固定套設有鼓風扇葉(20)，所述清潔箱(2)的另一側的頂部與底部分別設置有進水管和出水管，且進水管和出水管的一端均與清潔箱(2)相連通，所述進水管和出水管的另一端均延伸至箱體(1)外，且出水管上設置有控制閥。

2.根據權利要求1所述的一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，其特征在于，所述箱體(1)的兩側內壁上均開設有滑槽(3)，兩個滑槽(3)內均滑動安裝有滑動板(4)，兩個滑動板(4)相互靠近的一側分別與支撐桿(5)的兩端固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，其特征在于，所述清潔箱(2)的兩側頂部均固定安裝有擋板，且兩個擋板位于同一水平軸線上。

4.根據權利要求1所述的一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，其特征在于，所述箱體(1)的一側設置有安裝板，且安裝板上轉動安裝有拖拽桿。

5.根據權利要求1所述的一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，其特征在于，所述箱體(1)的底部內壁另一側固定安裝有安裝架，且電機(11)固定安裝在安裝架內。

6.根據權利要求1所述的一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，其特征在于，所述第二軸(15)和第三軸(18)的外側均固定套設有軸承的內圈，所述第一板(14)和第二板(17)上均開設有通孔，兩個軸承的外圈分別固定安裝在對應的通孔內。