[實用新型]一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置

有效

• 申請號: 202022545249.4
• 申請日: 2021-05-11
• 公開（公告）號: CN213934277U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 王偉
• 申請（專利權）人: 山東交通學院
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，包括飛秒激光系統、第一準直光闌，第二準直光闌，二分之一波片、格蘭泰勒偏光鏡、電子高速快門、第一計算機、第一凸透鏡、針孔濾波器、第二凸透鏡、雙色鏡、Dammann光柵、匯聚透鏡、三維精密移動平臺、附有金屬膜的玻璃基片、照明光源、半透半反鏡、CCD相機、第二計算機、氦氖激光光源；其特征是從飛秒激光系統出射的飛秒激光光束先后經過第一準直光闌、第二準直光闌、二分之一波片、格蘭泰勒偏光棱鏡、電子高速快門，電子高速快門通過控制器與第一計算機相連接，利用第一計算機中軟件程序可以控制電子高速快門的開關；光束隨后經過第一凸透鏡、針孔濾波器、第二凸透鏡、雙色鏡、Dammann光柵、匯聚透鏡聚焦于固定在三維精密移動平臺上的附有金屬膜的玻璃基片上，雙色鏡與光路呈45度角放置，光束經過Dammann光柵后產生不同方向的衍射光束，隨后經匯聚透鏡聚焦于附有金屬膜的玻璃基片形成多個能量均勻的聚焦光斑，照明光源照射樣品表面，提供明亮視場，三維精密移動平臺與第一計算機相連接，利用第一計算機可以控制三維精密移動平臺定位和移動；雙色鏡的透射側依次放置半透半反鏡、CCD相機，半透半反鏡與光路呈45度角放置，CCD相機與第二計算機相連接，半透半反鏡的反射側放置氦氖激光光源。

2.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的飛秒激系統是由振蕩級、放大級構成的中心波長為1040nm的高功率高重復頻率光子晶體光纖飛秒激光系統。

3.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的第一凸透鏡、所述的第二凸透鏡和所述的匯聚透鏡均為消色差雙凸透鏡。

4.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的針孔濾波器可防止空中的灰塵，光學元件或激光本身散射干擾，并與所述的第一凸透鏡和所述的第二凸透鏡將飛秒激光光束轉化為平面波。

5.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的雙色鏡是能實現飛秒激光光源覆蓋波段全反射和可見光波段全透射的介質膜鏡片。

6.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的Dammann光柵是根據需要制作的高破壞閾值1×N分束Dammann光柵。

7.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的三維精密移動平臺和第一計算機相連接，通過第一計算機中LabView軟件可對三維精密移動平臺連同待加工附有金屬膜的玻璃基片進行三維精密移動調節。

8.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的附有金屬膜的玻璃基片是在玻璃基底上鍍有單層金屬膜的基片。

9.如權利要求1所述的一種利用飛秒激光多路并行技術制備衍射光柵的裝置，其特征在于所述的CCD相機具有光學變焦功能，與第二計算機相連接可在第二計算機屏幕上實時觀測加工過程。