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[實(shí)用新型]一種AIN薄膜制備設(shè)備有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202022499429.3 申請(qǐng)日: 2020-11-03
公開(kāi)(公告)號(hào): CN214000246U 公開(kāi)(公告)日: 2021-08-20
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 沈秋華;吳思 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 南京三德光電有限公司
主分類(lèi)號(hào): B29C41/34 分類(lèi)號(hào): B29C41/34;B08B1/04;B29L7/00
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 210038 江蘇省南京市南京經(jīng)*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 ain 薄膜 制備 設(shè)備
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種AIN薄膜制備設(shè)備,包括主體(1),其特征在于:所述主體(1)的頂部固定連接有料斗(2),所述主體(1)的頂部活動(dòng)連接有基帶(3),所述主體(1)的頂部固定連接有烘干機(jī)(4),所述料斗(2)的左側(cè)固定連接有第一刮刀(5),所述第一刮刀(5)的內(nèi)部固定連接有固定桿(6),所述固定桿(6)的側(cè)表面活動(dòng)套接有第二刮刀(7),所述固定桿(6)的側(cè)表面螺紋連接有鎖緊螺母(8),所述主體(1)的頂部固定連接有第一支板(9)和第二支板(10),所述第一支板(9)的內(nèi)部活動(dòng)連接有螺紋桿(11),所述螺紋桿(11)的后端固定連接有把手(22),所述第二支板(10)的內(nèi)部活動(dòng)連接有定位桿(12);

所述螺紋桿(11)的側(cè)表面螺紋連接有移動(dòng)塊(13),所述定位桿(12)的側(cè)表面與移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部活動(dòng)連接,所述移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部活動(dòng)連接有固定框(14),所述固定框(14)的內(nèi)部連接有清潔輥(15),所述清潔輥(15)的側(cè)表面與第二刮刀(7)的側(cè)表面活動(dòng)連接,所述固定框(14)遠(yuǎn)離第二刮刀(7)的一側(cè)固定連接有拉桿(16),所述拉桿(16)的側(cè)表面與移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部活動(dòng)連接,所述移動(dòng)塊(13)遠(yuǎn)離第二刮刀(7)的一側(cè)固定連接有固定管(19),所述拉桿(16)的側(cè)表面螺紋連接有抵緊螺栓(17),所述抵緊螺栓(17)的側(cè)面與固定管(19)遠(yuǎn)離第二刮刀(7)的一側(cè)抵持。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種AIN薄膜制備設(shè)備,其特征在于:所述第二刮刀(7)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有通孔,所述固定桿(6)的側(cè)表面與通孔的內(nèi)部活動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種AIN薄膜制備設(shè)備,其特征在于:所述第一支板(9)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有第一固定孔,所述第一固定孔的內(nèi)部固定連接有第一軸承,所述螺紋桿(11)的側(cè)表面與第一軸承的內(nèi)部固定連接,所述第二支板(10)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有第二固定孔,所述第二固定孔的內(nèi)部固定連接有第二軸承,所述定位桿(12)的側(cè)表面與第二軸承的內(nèi)部固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種AIN薄膜制備設(shè)備,其特征在于:所述移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有通槽,所述定位桿(12)的側(cè)表面與通槽的內(nèi)部活動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種AIN薄膜制備設(shè)備,其特征在于:所述移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有移動(dòng)槽,所述固定框(14)位于移動(dòng)槽內(nèi),所述固定框(14)的內(nèi)部活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(18),所述轉(zhuǎn)軸(18)的側(cè)表面與清潔輥(15)的內(nèi)部固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種AIN薄膜制備設(shè)備,其特征在于:所述移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有彈簧槽,所述彈簧槽的內(nèi)部固定連接有彈簧(20),所述彈簧(20)遠(yuǎn)離抵緊螺栓(17)的一端與固定框(14)的側(cè)面固定連接,所述抵緊螺栓(17)位于彈簧(20)的內(nèi)部,所述固定框(14)的側(cè)面固定連接有限位柱(21),所述限位柱(21)的側(cè)表面與移動(dòng)塊(13)的內(nèi)部活動(dòng)連接。

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