[實用新型]一種等離子清洗機的氣流導流結構

有效

• 申請號: 202022495114.1
• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN213728303U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 郭峰;王宇
• 申請（專利權）人: 昆山普樂斯電子科技有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本實用新型涉及一種等離子清洗機的氣流導流結構，屬于等離子清洗技術領域；其設置在等離子清洗機上，等離子清洗機包括箱門以及箱體，其特征在于：所述箱體內設置有多個清洗艙室，所述箱門上設置有進氣裝置，所述箱體上設置有抽氣裝置，所述進氣裝置與抽氣裝置均能夠連通至清洗艙室內，所述進氣裝置包括多個進氣孔，每個清洗艙室均對應有進氣孔，所述抽氣裝置包括導流夾層，所述導流夾層包括多個導流板，每個導流板上均陣列分布有多個貫通的抽氣孔，每個導流板上的抽氣孔孔徑均不一致；本實用新型提供了一種等離子清洗機的氣流導流結構，氣體流向分布均勻，電離效果較好，清洗效果較好。

技術領域

本實用新型涉及一種等離子清洗機的氣流導流結構，屬于等離子清洗技術領域。

背景技術

等離子清洗機多用于等離子清洗機常用于半導體領域，可對引線框架、PCB板、晶圓、陶瓷等材料進行清洗，等離子清洗機使用時需要對機體內供氣，再對氣體供電，電離形成等離子體，用于清洗，現有的等離子清洗機供氣與抽氣裝置結構單一，氣體流向單一，較為集中，導致氣體分布不均勻，電離效果較差，清洗效果較差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中的不足，提供一種等離子清洗機的氣流導流結構，氣體流向分布均勻，電離效果較好，清洗效果較好。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種等離子清洗機的氣流導流結構，設置在等離子清洗機上，所述等離子清洗機包括箱門以及箱體，所述箱體內設置有多個清洗艙室，所述箱門上設置有進氣裝置，所述箱體上設置有抽氣裝置，所述進氣裝置與抽氣裝置均能夠連通至清洗艙室內，所述進氣裝置包括多個進氣孔，每個清洗艙室均對應有進氣孔，所述抽氣裝置包括導流夾層，所述導流夾層包括多個導流板，每個導流板上均陣列分布有多個貫通的抽氣孔，每個導流板上的抽氣孔孔徑均不一致。

進一步地，所述導流夾層設置在箱體內，所述導流夾層設置在進氣孔的對側方向上，所述導流夾層包括兩個導流板，靠近清洗艙室的導流板上的抽氣孔的孔徑小于另一個導流板上抽氣孔的孔徑。

進一步地，所述導流夾層還包括設置在導流板之間的以及導流板與箱體之間的安裝墊板，所述抽氣裝置還包括真空管路，所述真空管路一端連通至導流夾層，另一端與真空泵連接。

進一步地，所述清洗艙室四周設置有絕緣隔板，所述絕緣隔板與箱體可拆連接。

進一步地，所述箱體連接有用于安裝絕緣隔板的安裝卡座，所述安裝卡座上設有能夠卡設絕緣隔板的安裝卡槽。

進一步地，每個清洗艙室內對應設置有一物料支架，所述物料支架上設有多個儲物腔，每個儲物腔均對應有不少于一個進氣孔。

進一步地，所述進氣裝置包括設置在箱門內側上的進氣管路，所述進氣管路上開設有多個進氣孔，所述進氣管路與供氣接口連通，所述供氣接口設置在箱門上且與外部的供氣機連通。

進一步地，所述進氣管路包括兩根進氣橫管、設置在兩根進氣橫管之間的進氣豎管以及用于連接進氣橫管與供氣接口的主供氣管，對應每個儲物腔的中間位置均設有進氣豎管，所述進氣豎管兩端分別連通一進氣橫管，所述主供氣管的兩端分別與兩個進氣橫管的中間位置連通，所述主供氣管的中間位置與供氣接口連通。

與現有技術相比，本實用新型所達到的有益效果：

本技術方案設有導流夾層，導流夾層設有多個導流板且導流板上的抽氣孔的孔徑各不一致，能夠減緩氣體流動速度，提高氣體的留存時間，確保氣體的擴散空間與擴散效果，確保清洗作業的效果；

本技術方案設有多個清洗艙室，在一定程度上相互獨立隔絕，減少相互之間的干擾，確保作業安全，提升作業效率；

本技術方案設有物料支架，且物料支架上設有多個儲物腔，能夠同時放置多個物料盒，提升作業效率；