[實用新型]用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022487411.1
• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN213580716U
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚培汝;沈銘興;陳建賓
• 申請（專利權(quán)）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 張燕華

1.一種用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，設(shè)置于一包含有一晶圓吸盤的晶圓處理制程設(shè)備，該晶圓吸盤具有一用以吸附一晶圓的吸附平面，其特征在于，該線掃描光學檢測系統(tǒng)包含：

一照明模塊，用以沿至少一投射方向投射出至少一檢測光束；

一移動模塊，用以承載該晶圓吸盤，并使該晶圓吸盤沿一移動方向移動；

一線掃描圖像獲取模塊，設(shè)置于該晶圓處理制程設(shè)備的一狹縫型安裝空間，用以當該至少一檢測光束投射至該晶圓吸盤時，沿一掃描線掃描該晶圓吸盤以獲取至少一晶圓吸盤檢測圖像；

一圖像分析模塊，電性連接于該線掃描圖像獲取模塊，用以分析該至少一晶圓吸盤檢測圖像中是否存在對應(yīng)于至少一異物的至少一異物邊界輪廓；

其中，當該至少一檢測光束投射至該晶圓吸盤時，該至少一投射方向與該吸附平面的夾角小于30度。

2.如權(quán)利要求1所述的用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中，該照明模塊包含至少一線照明組件，且該至少一線照明組件包含多個線性排列的照明元件。

3.如權(quán)利要求1所述的用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中，該線掃描圖像獲取模塊包含一透鏡組與一線掃描圖像感測裝置，該透鏡組與該線掃描圖像感測裝置沿一取像中心軸而設(shè)置，且該取像中心軸垂直于該掃描線，并且經(jīng)過該掃描線的中心。

4.如權(quán)利要求3所述的用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中，該取像中心軸垂直于該移動方向。

5.如權(quán)利要求3所述的用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中，該線掃描圖像感測裝置為一線掃描互補式金屬氧化物半導體圖像傳感器或一線掃描電荷耦合器件。

6.如權(quán)利要求1所述的用于檢測晶圓吸盤殘留異物的線掃描光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中，該移動模塊包含：

一線性軌道，沿該移動方向延伸；

一移動式載臺，設(shè)置在該線性軌道，用以沿該線性軌道移動；以及

一承載盤，設(shè)置在該移動式載臺，用以承載該晶圓吸盤。