[實(shí)用新型]一種洗凈籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022454611.7
• 申請(qǐng)日: 2020-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213728177U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧旭彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波云德半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/04
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/04;B08B13/00
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理有限公司 33226
• 代理人: 萬(wàn)小舟

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種洗凈籃，包括由前擋板、后擋板和兩個(gè)側(cè)擋板組成的框架，所述的框架內(nèi)設(shè)置有沿圓周方向分布的至少三個(gè)限位桿，所述的限位桿上沿軸向設(shè)置有用于與石英產(chǎn)品卡接配合且間隔設(shè)置的多個(gè)卡槽，所述的限位桿的前后兩側(cè)分別與所述的前擋板、所述的后擋板滑動(dòng)配合，所述的限位桿的前后兩側(cè)通過(guò)鎖定機(jī)構(gòu)與所述的前擋板、所述的后擋板鎖定配合；優(yōu)點(diǎn)是限位桿可調(diào)節(jié)，能夠適用于不同尺寸的石英產(chǎn)品，適用性較好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種洗凈籃。

背景技術(shù)

石英產(chǎn)品在加工完成后需要對(duì)其進(jìn)行清洗，以清除附著在石英產(chǎn)品表面的污漬，業(yè)界內(nèi)常規(guī)的清洗方法為RCA清洗方法，使用SC-1清洗液、SC-2清洗液、SC-3清洗液、DHF清洗液等去除上述污漬。

在清洗的過(guò)程中通常會(huì)使用到酸洗槽、漂洗槽和洗凈籃，以酸洗槽清洗為例，酸洗槽內(nèi)倒入SC-2清洗液，先將石英產(chǎn)品裝到與其對(duì)應(yīng)的洗凈籃上，然后將洗凈籃和石英產(chǎn)品浸入到SC-2清洗液中進(jìn)行酸洗，在酸洗過(guò)程中上下提拉洗凈籃。

市面上常見(jiàn)的洗凈籃包括框體和設(shè)置在框體上的提手，框體內(nèi)設(shè)置有與石英產(chǎn)品配合的卡槽，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸固定，僅能搭配與其尺寸相匹配的石英產(chǎn)品使用，適用性差。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可調(diào)節(jié)的洗凈籃，適用性較好。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為：一種洗凈籃，包括由前擋板、后擋板和兩個(gè)側(cè)擋板組成的框架，所述的框架內(nèi)設(shè)置有沿圓周方向分布的至少三個(gè)限位桿，所述的限位桿上沿軸向間隔設(shè)置有用于與石英產(chǎn)品卡接配合的多個(gè)卡槽，所述的限位桿的前后兩側(cè)分別與所述的前擋板、所述的后擋板滑動(dòng)配合，所述的限位桿的前后兩側(cè)通過(guò)鎖定機(jī)構(gòu)與所述的前擋板、所述的后擋板鎖定配合。

所述的前擋板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一滑槽，所述的后擋板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二滑槽，所述的限位桿的前側(cè)設(shè)置有與所述的第一滑槽滑動(dòng)配合的第一滑桿，所述的限位桿的后側(cè)設(shè)置有與所述的第二滑槽配合的第二滑桿。該結(jié)構(gòu)中，第一滑桿與第一滑槽滑動(dòng)配合，第二滑桿與第二滑槽滑動(dòng)配合，以實(shí)現(xiàn)限位桿與前擋板、后擋板滑動(dòng)配合，簡(jiǎn)單方便。

所述的鎖定機(jī)構(gòu)包括中心開(kāi)孔的第一擋塊、中心開(kāi)孔的第二擋塊和螺帽，所述的第一滑桿的前側(cè)伸出所述的第一滑槽，且所述的第一滑桿的外側(cè)壁上設(shè)置有與所述的螺帽配合的外螺紋，所述的第二滑桿的后側(cè)伸出所述的第二滑槽，且所述的第二滑桿的后側(cè)固定設(shè)置有限位塊，所述的第一擋塊套在所述的第一滑桿上且位于所述的螺帽和所述的前擋板之間，所述的第二擋塊套在所述的第二滑桿上且位于所述的限位塊和所述的后擋板之間。當(dāng)正向旋轉(zhuǎn)螺帽使其擰緊時(shí)，第一擋塊緊貼在前擋板上，第二擋塊緊貼在后擋板上，通過(guò)摩擦力防止限位桿滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)鎖定限位桿的目的；當(dāng)反向旋轉(zhuǎn)螺帽使其松脫時(shí)，第一擋塊脫離前擋板，第二擋塊脫離后擋板，此時(shí)第一滑桿可在第一滑槽內(nèi)來(lái)回滑動(dòng)，第二滑桿可在第二滑槽內(nèi)來(lái)回滑動(dòng)，限位桿解鎖。

所述的第一擋塊的后側(cè)壁上設(shè)置有第一齒部，所述的前擋板的前側(cè)壁上設(shè)置有與所述的第一齒部配合的第二齒部，所述的第二擋塊的前側(cè)壁上設(shè)置有第三齒部，所述的后擋板的后側(cè)壁上設(shè)置有與所述的第三齒部配合的第四齒部。當(dāng)螺帽擰緊時(shí)，第一擋塊緊貼在前擋板上，同時(shí)第一齒部與第二齒部相配合，第二擋塊緊貼在后擋板上，同時(shí)第三齒部與第四齒部相配合，有利于提高鎖定時(shí)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

所述的側(cè)擋板的上端向上延伸形成扶手，所述的側(cè)擋板和所述的扶手上開(kāi)設(shè)有沿豎直方向等間距排列的多個(gè)腰型孔。該結(jié)構(gòu)中，工作人員可通過(guò)腰型孔提起洗凈籃，當(dāng)洗凈籃浸入到清洗液中時(shí)，清洗液也可通過(guò)腰型孔流入或流出框架，有利于促進(jìn)框架內(nèi)外的清洗液流動(dòng)。

所述的前擋板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一通孔，所述的后擋板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二通孔。該結(jié)構(gòu)中，清洗液可通過(guò)第一通道、第二通道流入或流出框架，有利于促進(jìn)框架內(nèi)外的清洗液流動(dòng)，提高洗凈效率。

所述的前擋板的底部通過(guò)連接桿與所述的后擋板的底部連接固定。