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[實用新型]一種具有聚焦特性平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀有效

專利信息
申請號: 202022435573.0 申請日: 2020-10-28
公開(公告)號: CN213459635U 公開(公告)日: 2021-06-15
發明(設計)人: 邢志剛;袁仲云;賀晶晶 申請(專利權)人: 深圳市斯貝達電子有限公司
主分類號: H01J49/02 分類號: H01J49/02;H01J49/06;H01J49/26;G01N27/622
代理公司: 北京國坤專利代理事務所(普通合伙) 11491 代理人: 趙紅霞
地址: 518020 廣東省深圳市*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 具有 聚焦 特性 平板 型高場非 對稱 波形 離子 遷移
【權利要求書】:

1.一種具有聚焦特性平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀,依次包括:

離子源,用于輸入樣品氣;

遷移區,用于實現樣品氣的離子化并在電場作用下遷移,包括上下間隔設置的下極板和上極板,以及與下極板相連的地電極和與上極板相連的射頻電源;

檢測區,對離子種類進行識別,包括法拉第筒,和與法拉第筒連接的偏轉電壓源和微弱電流檢測電路;其特征在于:

所述上極板和下極板之間的間隔縫隙形狀為半圓形狀和水平通道形狀交替地間隔設置,且半圓形狀統一位于下極板上。

2.按照權利要求1所述的離子遷移譜儀,其特征在于:

所述上極板和下極板之間的間隔距離為0~10cm。

3.按照權利要求2所述的離子遷移譜儀,其特征在于:

所述上極板和下極板中半圓形狀的弧度小于或者等于180度。

4.按照權利要求3所述的離子遷移譜儀,其特征在于:

所述上極板和下極板中的半圓形狀為同心圓。

5.如權利要求4所述的離子遷移譜儀,其特征在于:

所述半圓形狀和所述水平通道形狀的銜接處采用下電極-絕緣材-屏蔽電極-絕緣層-間隔空隙-絕緣層-屏蔽電極-絕緣層-上電極的布置結構。

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