[實用新型]一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022376513.6
• 申請日: 2020-10-23
• 公開（公告）號: CN213150797U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設計）人: 趙衛(wèi)東;趙龍寶;王浩;沈溜海;李涼平;馮際令;李向華
• 申請（專利權）人: 江蘇東鋆光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673
• 代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務所(普通合伙) 32380
• 代理人: 孫燕波

1.一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟，包括一組豎板(1)，一組所述豎板(1)之間的下部固定有一組平行設置的支撐梁(2)，其特征在于：還包括一組定位梁(3)和一組側梁(4)；

所述豎板(1)一表面上部的兩側均開設有第一滑槽(101)，所述豎板(1)一表面且位于一組第一滑槽(101)上方的位置均開設有第二滑槽(102)，所述第二滑槽(102)一端貫穿豎板(1)一側；

所述豎板(1)外側且位于第二滑槽(102)上方的位置固定有第一支沿(103)，所述第一支沿(103)上貫穿有緊定螺釘(104)，所述豎板(1)外側固定有一組第二支沿(105)，所述第二支沿(105)與第一滑槽(101)位置上相對；

所述定位梁(3)周側面、支撐梁(2)周側面和側梁(4)周側面均并排開設有若干限位槽(201)，所述支撐梁(2)和側梁(4)上的限位槽(201)兩側均開設有斜槽(202)；

所述定位梁(3)兩端和側梁(4)兩端均固定有墊板(301)，兩所述定位梁(3)分別設置在兩豎板(1)上的一組第二滑槽(102)內且與第二滑槽(102)間隙配合，兩所述側梁(4)分別設置在兩豎板(1)上的一組第一滑槽(101)內且與第一滑槽(101)滑動連接；

所述定位梁(3)一端的墊板(301)端部固定有橫板(302)，所述橫板(302)上開設有通孔(303)，所述定位梁(3)通過緊定螺釘(104)和通孔(303)固定在一組豎板(1)之間；

所述側梁(4)一端的墊板(301)端部固定有豎沿(401)，所述豎沿(401)上貫穿有螺桿(402)，所述螺桿(402)一端貫穿第二支沿(105)且與第二支沿(105)螺紋連接，所述螺桿(402)一端固定有把手(403)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟，其特征在于，所述豎板(1)底部的相對側均固定有支腿(106)，兩所述支腿(106)呈八字形分布。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟，其特征在于，所述把手(403)為圓柱體結構，所述把手(403)周側面開設有若干防滑槽。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟，其特征在于，所述緊定螺釘(104)包括螺桿部和螺帽部，所述螺帽部周側面設有盤體，所述盤體周側面開設有若干防滑槽。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種用于固態(tài)磷擴散的石英推拉舟，其特征在于，所述第一滑槽(101)為腰形槽結構，所述第一滑槽(101)靠近豎板(1)中心線的一端與第二滑槽(102)靠近豎板(1)中心線的一端平行。