[實用新型]一種圓晶自動去膠機用去膠構件

有效

• 申請號: 202022370043.2
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN214391549U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 何浩梁
• 申請（專利權）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 廣州正馳知識產權代理事務所(普通合伙) 44536
• 代理人: 洪安鵬

本實用新型涉及安裝防護技術領域，具體為一種圓晶自動去膠機用去膠構件，包括安裝機構與安裝構件；所述的安裝機構外壁上連接有用于安裝去膠機內部加工件的安裝構件，所述的安裝構件通過螺栓件固定在安裝機構的外壁上，本實用新型通過設置一種去膠構件的安裝機構，通過安裝機構與安裝構件的組合安裝方式，將去膠構件固定安裝在安裝構件上，保證了去膠構件在安裝構件外部安裝的穩定，且通過安裝構件的安裝方式多樣性，使得去膠構件能夠采用多種安裝方式固定在安裝構件上，從而提高了去膠構件在安裝構件上安裝的靈活性，以及安裝的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及安裝防護技術領域，具體為一種圓晶自動去膠機用去膠構件。

背景技術

光阻機通常采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠)，達到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優點，然而往往在光阻機的內部往往會在去膠完成后進行進一步的安裝防護加工，實現新型膠體的安裝防護，實現光阻機的多重加工步驟；

圓晶是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為圓晶。圓晶是生產集成電路所用的載體，一般意義晶圓多指單晶硅圓片。單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經過拋光、切片之后，就成為了圓晶。

傳統的去膠機內部通過設置去膠構件對內部安裝圓晶盤進行去膠的加工，去膠構件在加工過程中往往需要對構件進行固定安裝，然而傳統的安裝方式通過螺栓將去膠構件安裝在去膠機的內部，然而這種安裝方式往往無法保證去膠構件在去膠機內部的安裝的穩定性，存在著一定的安全隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種圓晶自動去膠機用去膠構件固定用加強機構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種圓晶自動去膠機用去膠構件，包括安裝機構與安裝構件；所述的安裝機構外壁上連接有用于安裝去膠機內部加工件的安裝構件，所述的安裝構件通過螺栓件固定在安裝機構的外壁上，所述的安裝機構包括安裝槽板與固定桿以及加強桿，所述的安裝機構的外部由于兩組安裝槽板組合連接形成，一組所述的安裝槽板的外壁上連接有安裝件，另一組所述的安裝槽板的外壁上連接有安裝構件，所述的固定桿固定連接在安裝槽板的內部，且所述的固定桿之間組合固定在安裝槽板的內壁上，所述的固定桿的外側連接有連接桿，所述的連接桿穿過所述的安裝槽板的內壁與所述的加強桿連接，所述的安裝槽板的外壁上下端設置有安裝板，所述的安裝板的內側固定連接有套筒，且所述的套筒的內部套接有彈簧件，且所述的彈簧件的一端與所述的加強桿的端部固定連接。

優選的，所述的安裝構件包括L型固定架板與螺桿，所述的螺桿固定連接在L型固定架板的背面，所述的螺桿固定板在安裝槽板的外壁上，所述的L型固定架板上端設置有U型槽，所述的L型固定架板的底部設置有栓孔，所述的栓孔設置垂直安裝槽板的橫截面上。

優選的，所述的安裝槽板的顳部設置有散熱孔，且兩組對接的安裝槽板之間組合密封對接，所述的散熱孔均勻分布在固定桿內側的安裝槽板的內外壁上。

優選的，所述的加強桿通過上下端的彈簧件固定在所述的套筒的內部，且所述彈簧件的側端固定套接在套筒內部的安裝槽內部，且所述的套筒的底部固定焊接在安裝板的內側面上。

優選的所述的加強桿通過貫穿安裝槽板內外壁的連接桿與固定桿的外部固定連接，且固定桿與加強桿之間連接有多組連接桿，所述的加強桿設置在安裝槽板的兩側外壁上，且通過兩側設置的套筒固定。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過設置一種去膠構件的安裝機構，通過安裝機構與安裝構件的組合安裝方式，將去膠構件固定安裝在安裝構件上，保證了去膠構件在安裝構件外部安裝的穩定，且通過安裝構件的安裝方式多樣性，使得去膠構件能夠采用多種安裝方式固定在安裝構件上，從而提高了去膠構件在安裝構件上安裝的靈活性，以及安裝的穩定性。