[實用新型]一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022370025.4
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN214411149U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鐘興進
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市鴻浩光電半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;G08B21/18
• 代理公司: 廣州正馳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44536
• 代理人: 洪安鵬

1.一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，包括防撞機構(gòu)(11)；

其特征在于：

所述的防撞機構(gòu)(11)安裝在滑塊(10)的側(cè)端，且所述的滑塊(10)滑動連接在滑軌(20)的上端，所述的滑軌(20)用于去膠機內(nèi)部傳輸構(gòu)件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的防撞機構(gòu)(11)包括安裝殼體(111)與抵柱(112)，所述的抵柱(112)一端延伸出安裝殼體(111)的外部，所述的抵柱(112)的l另一端傳動連接在安裝殼體(111)的內(nèi)部，所述的抵柱(112)另一端連接有彈簧件(116)，所述的彈簧件(116)的一端固定在安裝殼體(111)的內(nèi)壁上，所述的抵柱(112)的外壁之間連接有連通桿(117)，且安裝在安裝殼體(111)內(nèi)部兩側(cè)的抵柱(112)的外壁上連接有搭接板(115)，所述的搭接板(115)的底部設(shè)置有環(huán)板，所述的搭接板(115)環(huán)板與兩側(cè)的抵柱(112)的外壁固定連接，且所述兩側(cè)的抵柱(112)設(shè)置有警報器(30)與安裝電源(40)，所述的警報器(30)與安裝電源(40)的上端設(shè)置有對接板(118)，所述的警報器(30)與安裝電源(40)固定安裝在安裝殼體(111)的側(cè)端壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的安裝殼體(111)還包括套筒(113)與螺桿(114)，所述的安裝殼體(111)內(nèi)壁兩側(cè)設(shè)置有固定筒，所述的固定筒內(nèi)部設(shè)置有安裝槽，所述的螺桿(114)螺旋連接在安裝槽內(nèi)部，且所述的螺桿(114)的另一端與所述的套筒(113)的內(nèi)部螺旋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的對接板(118)設(shè)置在所述的搭接板(115)的正上方，所述的搭接板(115)的上演到對接板(118)的垂直距離與抵柱(112)的前端到安裝殼體(111)的外端部距離一致。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的抵柱(112)的前端外壁表面設(shè)置絕緣層，所述的連通桿(117)與搭接板(115)采用金屬材質(zhì)，所述的對接板(118)與警報器(30)與安裝電源(40)內(nèi)部電源線路連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓反應(yīng)腔去膠機的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的安裝殼體(111)的外壁固定連接在所述的滑塊(10)的兩側(cè)外壁上，且所述的安裝殼體(111)的底部表面與滑軌(20)的上端面貼合。