[實(shí)用新型]一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022368682.5
• 申請(qǐng)日: 2020-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213613110U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱建平;孫志平;嚴(yán)鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇呈飛新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B9/027
• 分類號(hào): B08B9/027;B08B9/032;H01L21/67
• 代理公司: 南京禾易知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32320
• 代理人: 王彩君

1.一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，包括退火爐箱(1)，其特征在于：所述退火爐箱(1)的一側(cè)設(shè)置有第一冷卻水箱(2)，且退火爐箱(1)的另一側(cè)設(shè)置有第二冷卻水箱(14)，所述退火爐箱(1)與第二冷卻水箱(14)和第一冷卻水箱(2)焊接連接，所述第二冷卻水箱(14)和第一冷卻水箱(2)的頂部均設(shè)置有水箱蓋(3)，且水箱蓋(3)與第一冷卻水箱(2)和第二冷卻水箱(14)通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述退火爐箱(1)的內(nèi)部設(shè)置有退火管(7)，且退火管(7)有多個(gè)，所述退火管(7)依次穿過(guò)第一冷卻水箱(2)、退火爐箱(1)和第二冷卻水箱(14)，所述退火管(7)的內(nèi)部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)桿(10)，所述旋轉(zhuǎn)桿(10)的一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)頁(yè)板(9)，且旋轉(zhuǎn)桿(10)與旋轉(zhuǎn)頁(yè)板(9)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述水箱蓋(3)的底部均設(shè)置有隔板(6)，且隔板(6)有多個(gè)，多個(gè)所述隔板(6)之間設(shè)置有連通管(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述退火管(7)的兩端均設(shè)置有退火管套(8)，且退火管(7)與退火管套(8)通過(guò)卡槽連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述退火爐箱(1)的底部設(shè)置有底座(15)，所述底座(15)的底部設(shè)置有底座支架(4)，且底座(15)與底座支架(4)焊接連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿(10)的一端設(shè)置有第一固定板(11)，且旋轉(zhuǎn)桿(10)的另一端設(shè)置有電機(jī)(13)，所述電機(jī)(13)的一側(cè)設(shè)置有第二固定板(12)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種退火爐內(nèi)部的清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述電機(jī)(13)與第二固定板(12)焊接連接，所述旋轉(zhuǎn)桿(10)與第一固定板(11)通過(guò)卡槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述電機(jī)(13)與旋轉(zhuǎn)桿(10)通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。