[實用新型]一種鎖緊裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022364045.0
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN214082187U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王龍飛;王偉;王瑞
• 申請（專利權(quán)）人: 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00
• 代理公司: 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11716
• 代理人: 劉德順

本申請公開了一種鎖緊裝置，用于按設(shè)定壓力鎖緊多個疊摞在一起的晶棒，以備晶棒間的粘接，所述鎖緊裝置包括承載部、鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺和鎖緊機(jī)構(gòu)，所述承載部用于承載疊摞在一起的晶棒，所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺位于所述承載部上方并與所述承載部之間形成疊摞晶棒的放置空間，所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺上具有鎖緊機(jī)構(gòu)安裝位，所述鎖緊機(jī)構(gòu)固設(shè)于所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝位，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括壓緊部，所述壓緊部具有壓緊位于承載部的疊摞晶棒的第一位置和松脫位于承載部的疊摞晶棒的第二位置。本申請所公開的所述鎖緊裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好、粘接效率高、便于實施、便于操控、成本低廉等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于晶棒加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于按設(shè)定壓力鎖緊多個疊摞在一起的晶棒的鎖緊裝置。

背景技術(shù)

在晶棒加工領(lǐng)域，為了提高切割效率，往往需要將多個晶棒進(jìn)行疊摞在一起，并進(jìn)行粘接，粘接后再將其放入切割機(jī)中進(jìn)行切割。為了便于說明，以碳化硅晶棒為例進(jìn)行說明：眾所周知，碳化硅單晶是重要的第三代半導(dǎo)體材料之一，因其具有禁帶寬度大、飽和電子遷移率高、擊穿強(qiáng)度大、熱導(dǎo)率高等特性，被廣泛應(yīng)用于電力電子、射頻器件、光電子器件等領(lǐng)域。在具體應(yīng)用過程中，根據(jù)需要將碳化硅晶棒進(jìn)行切割，為了提高切割效率，往往在切割之前將多個晶棒粘接后再實施切割工藝。然而，在粘接過程中，如果沒有鎖緊裝置的輔助便實施粘接工藝，將嚴(yán)重地影響粘接質(zhì)量、粘接效率。除此之外，受晶棒容易劃傷、斷裂等物理特性的限制，還需要對鎖緊工裝等輔助裝置的鎖緊力、穩(wěn)定性提出了較高的要求；除此之外，作為輔助性裝置，這類鎖緊裝置還應(yīng)具有便于實施、便于操作、省時、省力、省成本等優(yōu)點(diǎn)。

為此，針對晶棒的切割前的粘接工藝，需要發(fā)明一種結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好、粘接效率高、便于實施、便于操控、成本低廉的鎖緊裝置。

需要說明的是，上述內(nèi)容屬于發(fā)明人的技術(shù)認(rèn)知范疇，并不必然構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供了一種鎖緊裝置，以解決上述技術(shù)問題中的至少一個技術(shù)問題。

本實用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種鎖緊裝置，用于按設(shè)定壓力鎖緊多個疊摞在一起的晶棒，以備晶棒間的粘接，所述鎖緊裝置包括承載部、鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺和鎖緊機(jī)構(gòu)，所示承載部用于承載疊摞在一起的晶棒；所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺位于所述承載部上方并與所述承載部之間形成疊摞晶棒的放置空間，所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺上具有鎖緊機(jī)構(gòu)安裝位；所述鎖緊機(jī)構(gòu)固設(shè)于所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝位，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括壓緊部，所述壓緊部具有壓緊位于承載部的疊摞晶棒的第一位置和松脫位于承載部的疊摞晶棒的第二位置。

進(jìn)一步選擇性地選擇使所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝位具有限位通孔，所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括第一桿體和具有所述壓緊部的壓緊結(jié)構(gòu)體，所述壓緊結(jié)構(gòu)體位于所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺的下方且與所述第一桿體的第一端固連設(shè)置、鉸接設(shè)置或一體化設(shè)置，所述第一桿體的中部與所述限位通孔套裝設(shè)置并能相對所述承載部往復(fù)移動，以使所述壓緊部具有所述第一位置和所述第二位置。

進(jìn)一步選擇性地使所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括第二桿體，所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺還具有位于所述限位通孔一側(cè)的第二桿體支撐部，所述第二桿體的第一端與所述第一桿體的第二端鉸鏈連接，所述第二桿體的中部與所述第二桿體支撐部鉸鏈連接，當(dāng)下壓所述第二桿體的第二端時，所述壓緊部朝遠(yuǎn)離所述承載部的方向移動。

進(jìn)一步選擇性地使所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺經(jīng)過支撐結(jié)構(gòu)體固設(shè)于所述承載部的正上方，所述第一桿體上設(shè)有第一限位部，所述第一限位部位于所述限位通孔的下方，于所述第一限位部與所述鎖緊機(jī)構(gòu)安裝臺之間設(shè)有彈性件，所述彈性件促使所述壓緊部朝所述承載部的方向移動設(shè)置。

進(jìn)一步選擇性地使所述第一桿體上還設(shè)有第二限位部，所述第二限位部位于所述限位通孔的上方，以使所述壓緊結(jié)構(gòu)體位于設(shè)定的位置區(qū)域。

進(jìn)一步選擇性地使所述第一桿體包括設(shè)定長度的螺紋桿部，所述第二限位部與所述螺紋桿部螺紋連接，所述第二限位部于所述螺紋桿部上位置可調(diào)設(shè)置。