[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體加工清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022352994.7 | 申請(qǐng)日: | 2020-10-21 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN214321047U | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-10-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 占方耀 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 陜西啟航測(cè)量設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | B08B3/02 | 分類號(hào): | B08B3/02;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都魚(yú)爪智云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51308 | 代理人: | 谷科均 |
| 地址: | 710000 陜西省西安市雁*** | 國(guó)省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 加工 清洗 裝置 | ||
1.一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定連接有L型板(2),所述L型板(2)的頂部固定連接有電動(dòng)機(jī)(3),所述電動(dòng)機(jī)(3)的輸出端固定連接有傳動(dòng)桿(4),所述傳動(dòng)桿(4)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述底座(1)上設(shè)有兩個(gè)收集箱(26),所述L型板(2)的底部固定連接有電動(dòng)伸縮桿(13),所述電動(dòng)伸縮桿(13)的輸出端固定連接有清洗機(jī)構(gòu),所述清洗機(jī)構(gòu)上設(shè)有控制機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括與底座(1)固定連接的支撐桿(9),所述支撐桿(9)的頂部固定連接有下固定板(10),所述下固定板(10)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有三個(gè)滾動(dòng)輥(11),三個(gè)所述滾動(dòng)輥(11)呈兩高一低設(shè)置,最低處的所述滾動(dòng)輥(11)的左端固定連接有旋轉(zhuǎn)桿(8),所述旋轉(zhuǎn)桿(8)貫穿下固定板(10)并與其轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述旋轉(zhuǎn)桿(8)的左端固定連接有從動(dòng)輪(7),所述傳動(dòng)桿(4)的左端固定連接有主動(dòng)輪(5),所述主動(dòng)輪(5)與從動(dòng)輪(7)的外壁共同套設(shè)有傳送帶(6),所述傳送帶(6)貫穿L型板(2)設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,其特征在于,所述清洗機(jī)構(gòu)包括與L型板(2)的頂部固定連接的水箱(17),所述水箱(17)的底部固定連接有塑料出水管(16),所述塑料出水管(16)貫穿L型板(2)并與其固定連接,所述電動(dòng)伸縮桿(13)的底部固定連接有上固定板(12),所述上固定板(12)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有出水輥(14),所述上固定板(12)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有對(duì)稱的兩個(gè)清洗輥(15),兩個(gè)所述清洗輥(15)的外壁均設(shè)有多個(gè)毛刷,所述塑料出水管(16)貫穿上固定板(12)并與其固定連接,所述塑料出水管(16)與出水輥(14)固定連接,所述出水輥(14)上固定連接有水箱(17)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,其特征在于,所述控制機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在出水輥(14)上的多個(gè)出水孔(18),多個(gè)所述出水孔(18)的兩側(cè)均設(shè)有與出水輥(14)固定連接的滑動(dòng)桿(19),兩個(gè)所述滑動(dòng)桿(19)上均滑動(dòng)連接有滑塊(20),兩個(gè)所述滑塊(20)的相對(duì)端均固定連接有連接桿(21),兩個(gè)所述連接桿(21)均貫穿出水輥(14)并與其滑動(dòng)連接,兩個(gè)所述連接桿(21)共同固定連接有伸縮桿(22),所述伸縮桿(22)的底部固定連接有萬(wàn)向滾珠(23),所述伸縮桿(22)的頂部固定連接有活塞(24),所述出水輥(14)內(nèi)固定連接有活塞限位圈(25),所述伸縮桿(22)貫穿活塞限位圈(25)并與其滑動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,其特征在于,兩個(gè)所述收集箱(26)分別位于下固定板(10)的兩端。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體加工清洗裝置,其特征在于,所述出水輥(14)內(nèi)設(shè)有通水通道,所述塑料出水管(16)貫穿出水輥(14)并延伸至通水通道內(nèi)。
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