[實(shí)用新型]一種清洗液再生循環(huán)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022345504.0
• 申請(qǐng)日: 2020-10-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213492430U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛弘宇;陳開(kāi)清;劉興明;程陽(yáng);周建國(guó)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01D36/00
• 分類(lèi)號(hào): B01D36/00;B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 無(wú)錫蘇元專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

本實(shí)用新型屬于化學(xué)清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種清洗液再生循環(huán)裝置，包括框架，所述框架的內(nèi)部底端安裝有過(guò)濾箱，所述過(guò)濾箱的左右側(cè)分別連通有進(jìn)液管和第二管道，所述安裝框的內(nèi)部從左到右依次固定連接有第一過(guò)濾板、第二過(guò)濾板和第三過(guò)濾板，所述第二過(guò)濾板和第三過(guò)濾板之間填充有過(guò)濾棉，所述第三過(guò)濾板與安裝框的內(nèi)部右側(cè)之間填充有活性炭，從而達(dá)到了對(duì)使用后的清洗液再生處理時(shí)方便首先對(duì)清洗液中的雜質(zhì)、灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分過(guò)濾后在進(jìn)入加熱冷凝再生的效果，避免使用后的清洗液直接進(jìn)入蒸餾箱內(nèi)導(dǎo)致清洗液中的雜質(zhì)、灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分殘留到蒸餾箱內(nèi)造成對(duì)蒸餾箱內(nèi)部污染的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種清洗液再生循環(huán)裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造工藝中，當(dāng)經(jīng)過(guò)刻蝕工藝之后，形成有半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的晶圓表面容易產(chǎn)生雜質(zhì)和聚合物殘留，而這些殘留的雜質(zhì)和聚合物容易對(duì)后續(xù)的處理工藝造成影響，例如沉積工藝，因此，為了排除這些雜質(zhì)或聚合物，需要在各工藝步驟之間進(jìn)行清洗工藝。

CN111515188U公開(kāi)的一種清洗液再生循環(huán)裝置，對(duì)使用后的清洗液再生處理時(shí)將使用后的清洗液直接抽入到蒸餾箱內(nèi)進(jìn)行蒸餾，進(jìn)而清洗液直接進(jìn)入蒸餾箱內(nèi)導(dǎo)致清洗液中的雜質(zhì)、灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分殘留到蒸餾箱內(nèi)造成對(duì)蒸餾箱內(nèi)部污染的問(wèn)題，并且不便對(duì)清洗液中灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分過(guò)濾后在進(jìn)入加熱冷凝再生。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種清洗液再生循環(huán)裝置，具有對(duì)使用后的清洗液再生處理時(shí)方便首先對(duì)清洗液中的雜質(zhì)、灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分過(guò)濾后在進(jìn)入加熱冷凝再生，避免使用后的清洗液直接進(jìn)入蒸餾箱內(nèi)導(dǎo)致清洗液中的雜質(zhì)、灰塵細(xì)小顆粒以及殘留的化學(xué)成分殘留到蒸餾箱內(nèi)造成對(duì)蒸餾箱內(nèi)部污染的問(wèn)題的特點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種清洗液再生循環(huán)裝置，包括框架，所述框架的內(nèi)部固定連接有橫板，所述橫板的上端面從左到右依次固定連接有儲(chǔ)液箱和冷凝箱，所述儲(chǔ)液箱的上端面以及冷凝箱的左側(cè)之間連通有第一管道，所述框架的內(nèi)部底端固定連接有蒸餾箱，所述蒸餾箱的上端面右側(cè)連通有出氣管，所述出氣管的另一端貫穿橫板并與冷凝箱的上端面連通，所述框架的內(nèi)部底端安裝有過(guò)濾箱，所述過(guò)濾箱的左右側(cè)分別連通有進(jìn)液管和第二管道，所述第二管道的另一端與蒸餾箱的上端面左側(cè)連通，所述過(guò)濾箱的內(nèi)部活動(dòng)連接有安裝框，所述安裝框的內(nèi)部從左到右依次固定連接有第一過(guò)濾板、第二過(guò)濾板和第三過(guò)濾板，所述第二過(guò)濾板和第三過(guò)濾板之間填充有過(guò)濾棉，所述第三過(guò)濾板與安裝框的內(nèi)部右側(cè)之間填充有活性炭。

為了方便對(duì)過(guò)濾箱內(nèi)的安裝框取出并更換，作為本實(shí)用新型一種清洗液再生循環(huán)裝置優(yōu)選的，所述過(guò)濾箱的上端面貫穿開(kāi)設(shè)有開(kāi)口，所述開(kāi)口的內(nèi)側(cè)壁下端固定連接有搭接臺(tái)，所述搭接臺(tái)的上端面緊密貼合有密封蓋，所述密封蓋的上端面可拆卸連接有四個(gè)均勻分布的鎖件，所述過(guò)濾箱與密封蓋之間通過(guò)四個(gè)鎖件可拆卸連接，所述過(guò)濾箱的上端面開(kāi)設(shè)有拉槽。

為了方便抽入過(guò)濾箱內(nèi)的清洗液進(jìn)入安裝框內(nèi)過(guò)濾并輸出，作為本實(shí)用新型一種清洗液再生循環(huán)裝置優(yōu)選的，所述安裝框的左側(cè)呈開(kāi)口狀，所述安裝框的右側(cè)貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)開(kāi)孔。

為了方便安裝框通過(guò)開(kāi)口取出，作為本實(shí)用新型一種清洗液再生循環(huán)裝置優(yōu)選的，所述安裝框的面積小于開(kāi)口的面積。

為了對(duì)開(kāi)口與密封蓋之間起到密封作用，作為本實(shí)用新型一種清洗液再生循環(huán)裝置優(yōu)選的，所述密封蓋的外側(cè)壁嵌入設(shè)置有密封圈。

為了方便對(duì)使用后以及處理后的清洗液的循環(huán)使用，作為本實(shí)用新型一種清洗液再生循環(huán)裝置優(yōu)選的，所述儲(chǔ)液箱的左側(cè)連通有出液管，所述第二管道、第一管道以及出液管的外側(cè)壁均安裝有抽液泵。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：