[實用新型]除塵式硅片擴散裝卸片機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022332231.6
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN213444937U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閆善韻
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州林賽自動化科技有限公司
• 主分類號: B65G47/52
• 分類號: B65G47/52;B65G47/90
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及裝卸片機領(lǐng)域，尤其是除塵式硅片擴散裝卸片機。該裝卸片機包括雙層機臺、上水平輸送機構(gòu)、下水平輸送機構(gòu)、吹氣機構(gòu)、升降機構(gòu)、水平輥道、吸盤、吸盤移動機構(gòu)，所述雙層機臺由上下排列的兩層臺面固定組成，雙層機臺的上層臺面上固定有上水平輸送機構(gòu)，雙層機臺的下層臺面上固定有下水平輸送機構(gòu)，雙層機臺的上層臺面底部固定有吹氣機構(gòu)。本實用新型通過上水平輸送機構(gòu)和下水平輸送機構(gòu)將硅片花籃在不同高度的流道上進(jìn)行傳送。通過升降機構(gòu)配合吸盤，將硅片花籃進(jìn)行上下移動，從而選擇不同高度的流道。通過吹氣機構(gòu)吹除硅片上的污物。本申請?zhí)岣吡斯杵ɑ@傳送的效率，清除了硅片上的污物。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及裝卸片機領(lǐng)域，尤其是除塵式硅片擴散裝卸片機。

背景技術(shù)

硅片需要裝入硅片花籃中，或是將硅片花籃中的硅片取出。因此需要滿載硅片花籃和空載硅片花籃在不同的流道進(jìn)行傳送。但是現(xiàn)有的硅片裝卸片機的硅片花籃傳送效率較低，且硅片上容易沾染污物。

實用新型內(nèi)容

為了解決背景技術(shù)中描述的技術(shù)問題，本實用新型提供了一種除塵式硅片擴散裝卸片機。通過上水平輸送機構(gòu)和下水平輸送機構(gòu)將硅片花籃在不同高度的流道上進(jìn)行傳送。通過升降機構(gòu)配合吸盤，將硅片花籃進(jìn)行上下移動，從而選擇不同高度的流道。通過吹氣機構(gòu)吹除硅片上的污物。本申請?zhí)岣吡斯杵ɑ@傳送的效率，清除了硅片上的污物。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種除塵式硅片擴散裝卸片機，包括雙層機臺、上水平輸送機構(gòu)、下水平輸送機構(gòu)、吹氣機構(gòu)、升降機構(gòu)、水平輥道、吸盤、吸盤移動機構(gòu)，所述雙層機臺由上下排列的兩層臺面固定組成，雙層機臺的上層臺面上固定有上水平輸送機構(gòu)，雙層機臺的下層臺面上固定有下水平輸送機構(gòu)，雙層機臺的上層臺面底部固定有吹氣機構(gòu)，吹氣機構(gòu)的出氣口朝向升降機構(gòu)，升降機構(gòu)的滑座上固定有水平輥道，水平輥道一端固定有吸盤移動機構(gòu)，吸盤移動機構(gòu)的活塞桿上固定有吸盤。

具體地，所述上水平輸送機構(gòu)和下水平輸送機構(gòu)均為皮帶輸送機。

具體地，所述吹氣機構(gòu)由氣嘴和風(fēng)機組成，風(fēng)機的出風(fēng)口與氣嘴相連通。

具體地，所述升降機構(gòu)為線性模組。

具體地，所述水平輥道由框體和數(shù)個輥子組成，框體上轉(zhuǎn)動連接有數(shù)個排列呈直線的輥子。

具體地，所述吸盤移動機構(gòu)為單桿氣缸。

具體地，所述吸盤移動機構(gòu)上固定有滑座，滑座滑配連接在垂直軌道上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了一種除塵式硅片擴散裝卸片機。通過上水平輸送機構(gòu)和下水平輸送機構(gòu)將硅片花籃在不同高度的流道上進(jìn)行傳送。通過升降機構(gòu)配合吸盤，將硅片花籃進(jìn)行上下移動，從而選擇不同高度的流道。通過吹氣機構(gòu)吹除硅片上的污物。本申請?zhí)岣吡斯杵ɑ@傳送的效率，清除了硅片上的污物。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1.雙層機臺，2.上水平輸送機構(gòu)，3.下水平輸送機構(gòu)，4.吹氣機構(gòu)，5.升降機構(gòu)，6.水平輥道，7.吸盤，8.吸盤移動機構(gòu)。

具體實施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。