[實用新型]一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀有效
| 申請號： | 202022283062.1 | 申請日： | 2020-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN213422227U | 公開（公告）日： | 2021-06-11 |
| 發明（設計）人： | 歐艷艷;于國斌 | 申請（專利權）人： | 于國斌 |
| 主分類號： | G01D11/30 | 分類號： | G01D11/30 |
| 代理公司： | 廣州人才匯進知識產權代理事務所(普通合伙) 44763 | 代理人： | 袁翔 |
| 地址： | 510000 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 檢測 方便 使用 橢偏儀 | ||
1.一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀，包括橫板（1），其特征在于：所述橫板（1）頂部的兩側均固定連接有第一殼體（2），所述橫板（1）的底部固定連接有第二殼體（3），所述橫板（1）頂部的兩側均通過軸承活動連接有螺紋桿（4），所述螺紋桿（4）的表面螺紋連接有螺紋套（5），所述螺紋套（5）相對的一側固定連接有機體（6），所述螺紋桿（4）的底部固定連接有第一鏈輪（7），所述橫板（1）頂部的兩側均固定連接有限位桿（8），所述限位桿（8）的表面套設有限位套（9），所述限位套（9）的表面與螺紋套（5）的表面固定連接，所述第二殼體（3）內腔的底部固定連接有電機（10），所述電機（10）的輸出端固定連接有第二鏈輪（11），所述第二鏈輪（11）與第一鏈輪（7）通過鏈條傳動連接，所述螺紋桿（4）和限位桿（8）的頂部均固定連接有限位塊（12）。
2.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀，其特征在于：所述第二殼體（3）底部的兩側均固定連接有支腿（13），所述支腿（13）的底部固定連接有防滑墊（14）。
3.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀，其特征在于：所述第一殼體（2）正面的頂部開設有收容槽（15），所述收容槽（15）的內壁固定連接有銘牌（16）。
4.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀，其特征在于：所述第一殼體（2）正面的頂部固定連接有控制面板（17），所述第二殼體（3）背面底部的右側固定連接有接線盒（18）。
5.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用方便使用的橢偏儀，其特征在于：所述第二殼體（3）背面的底部通過鉸鏈活動連接有檢修門（19），所述檢修門（19）的表面貫穿設置有鎖芯（20）。
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