[實用新型]一種具有調節功能的刮刀裝置

有效

• 申請號: 202022279848.6
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN213468475U
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 趙凱;張欣;邵嘉裕;林海濤
• 申請（專利權）人: 技感半導體設備（南通）有限公司
• 主分類號: B05C11/04
• 分類號: B05C11/04
• 代理公司: 上海遠同律師事務所 31307
• 代理人: 張堅

1.一種具有調節功能的刮刀裝置，包括基板(100)、固定于基板(100)上的氣缸(200)，所述氣缸(200)的活塞桿(230)向下穿過所述基板(100)與位于所述基板(100)下方的刮刀架(500)相連，所述刮刀架(500)上裝有刮刀，其特征在于：所述氣缸(200)為雙作用氣缸，所述氣缸(200)在上的無桿腔(210)與下壓氣路(300)相連，所述氣缸(200)在下的有桿腔(220)與上提氣路(400)相連。

2.如權利要求1所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述下壓氣路(300)包括第一調壓閥(310)、第一電磁閥(320)與第一節流閥(330)，所述第一調壓閥(310)的進口與氣源(600)相連，出口與第一電磁閥(320)的進口通過氣管相連，所述第一電磁閥(320)的出口通過氣管與所述氣缸(200)的無桿腔(210)相連。

3.如權利要求2所述的具有調節功能的刮刀裝置，所述第一調壓閥(310)與所述第一電磁閥(320)間的氣管上連接有第一氣壓計(340)。

4.如權利要求1所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述上提氣路(400)包括第二調壓閥(410)、第二電磁閥(420)與第二節流閥(430)，所述第二調壓閥(410)的進口與氣源(600)相連，出口與第二節流閥(430)的進口通過氣管相連，所述第二節流閥(430)的出口通過氣管與所述氣缸(200)的有桿腔(220)相連。

5.如權利要求4所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述上提氣路(400)還包括第三節流閥(440)，所述第三節流閥(440)的進口與氣源(600)相連，出口通過氣管與所述第二電磁閥(420)相連。

6.如權利要求4所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述第二調壓閥(410)與第二電磁閥(420)間的氣管上連接有第二氣壓計(460)。

7.如權利要求4所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述上提氣路(400)還包括設于所述第二電磁閥(420)與第二節流閥(430)之間的氣管上的氣動閥(450)，所述氣動閥(450)的控制端與所述氣源(600)相連，所述氣動閥(450)能夠在所述氣源(600)失壓時封閉所述氣管。

8.如權利要求1所述的具有調節功能的刮刀裝置，其特征在于：所述刮刀裝置共兩組，前后相鄰布置，在前的所述刮刀前傾地固定于在前刮刀裝置的刮刀架(500)中，在后的所述刮刀后傾地固定于在后刮刀裝置的刮刀架(500)中。