[實用新型]硅片的高效運送裝置

有效

• 申請號: 202022277320.5
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN213546282U
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 謝立平;林銳;李唐
• 申請（專利權）人: 昆山萊崎龍精密技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 王健

1.一種硅片的高效運送裝置，其特征在于：包括安裝于機架（1）上的運料底板（11）、設置于運料底板（11）一端的上料座（37）、輸入組件（2）和輸出組件（3），所述輸入組件（2）和輸出組件（3）分別安裝于機架（1）上并呈上下疊置，所述上料座（37）可沿豎直方向上下移動，當上料座（37）移動至上端時，其與輸入組件（2）的一端鄰接，所述輸入組件（2）將料籃（39）運送至上料座（37）上，當上料座（37）移動至下端時，其與輸入組件（2）的一端鄰接，并將料籃（39）運送至輸入組件（2）上；

所述上料座（37）的外側設置有一用于驅動上料座（37）上下運動的上料驅動組件（38），所述上料座（37）上方放置有一料籃（39），若干個沿豎直方向間隔排列的料片（36）依次裝載于此料籃（39）內；

所述運料底板（11）上表面安裝有一支座（12），此支座（12）兩側對稱設置有用于傳輸料片（36）的傳輸皮帶（14），一用于驅動所述傳輸皮帶（14）的傳輸電機（13）安裝于支座（12）上；

所述傳輸電機（13）的輸出軸上安裝有一主驅動輪（15），所述支座（12）上轉動安裝有一第一轉軸（16），此第一轉軸（16）的兩端分別自支座（12）兩側向外伸出，位于主驅動輪（15）同側的第一轉軸（16）一端上安裝有一從驅動輪（17），此從驅動輪（17）與主驅動輪（15）通過同步帶傳動連接；

所述第一轉軸（16）上并位于支座（12）兩側分別安裝有一第一轉輪（18），所述支座（12）的兩側分別轉動安裝有若干個第二轉輪（19），位于支座（12）同一側的第一轉輪（18）與第二轉輪（19）之間通過傳輸皮帶（14）傳動連接；

所述第一轉軸（16）上并位于支座（12）兩側分別安裝有一第一轉輪（18），所述支座（12）的兩側分別轉動安裝有若干個第二轉輪（19），一活動板（24）可滑動地安裝于支座（12）上方并可沿運料方向往復運動，此活動板（24）靠近上料座（37）一端的兩個側端面上分別安裝有一可轉動的第三轉輪（25），位于支座（12）同一側的第一轉輪（18）、第二轉輪（19）、第三轉輪（25）通過傳輸皮帶（14）傳動連接，所述第三轉輪（25）的上表面與同側的一個第二轉輪（19）的上表面齊平，使得連接于上表面齊平的第三轉輪（25）與第二轉輪（19）之間的傳輸皮帶（14）呈可供與料片（36）接觸的水平傳輸面，所述傳輸皮帶（14）靠近上料座（37）的一端可伸入料籃（39）內；

所述支座（12）上可滑動地安裝有一活動塊（26），此活動塊（26）的上表面與活動板（24）遠離第三轉輪（25）一端的下表面連接，使得該活動塊（26）與活動板（24）同步運動，所述活動塊（26）的一個側端面上安裝有一可轉動的支撐輪（27），此支撐輪（27）與同側的第一轉輪（18）、第二轉輪（19）、第三轉輪（25）通過傳輸皮帶（14）傳動連接，所述支撐輪（27）與傳輸皮帶（14）的一表面接觸，所述第三轉輪（25）與傳輸皮帶（14）的另一表面接觸。

2.根據權利要求1所述的硅片的高效運送裝置，其特征在于：所述活動塊（26）與支座（12）之間通過滑軌與滑塊連接。

3.根據權利要求1或2所述的硅片的高效運送裝置，其特征在于：所述支座（12）一側安裝有兩個通過驅動皮帶（28）連接的驅動轉輪（29），其中一個驅動轉輪（29）與一安裝于支座（12）上的電機的輸出軸連接。

4.根據權利要求3所述的硅片的高效運送裝置，其特征在于：所述活動塊（26）通過一連接塊（30）與驅動皮帶（28）連接。