[實用新型]一種進排氣閥縱向布置的高真空微型泵

有效

• 申請號: 202022274596.8
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN213450788U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 蒲小勤
• 申請（專利權）人: 成都銳海流體科技有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;F04B37/14;F04B39/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：包括泵腔組件（1），設置在所述泵腔組件（1）內至上而下的驅動組件（7）和隔膜（6），設置在所述泵腔組件（1）下部的進氣腔和排氣腔，與所述驅動組件（7）連接的電機（8），設置在所述泵腔組件（1）底端的進氣接口（4）和排氣接口（5）；所述電機（8）設置在所述驅動組件（7）的右端，所述進氣腔和所述排氣腔設置在所述隔膜（6）的下方，所述進氣腔內設置有進氣閥（2），所述排氣腔內設置有排氣閥（3），所述進氣閥（2）和所述排氣閥（3）的中心連線與所述電機（8）的軸線平行，所述進氣閥（2）和所述排氣閥（3）分別與所述進氣接口（4）和所述排氣接口（5）相通，所述隔膜（6）安裝在所述泵腔組件（1）的工作側。

2.根據權利要求1所述的進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述驅動組件（7）包括連桿、軸承和偏心輪，所述連桿一端連接所述隔膜（6），另一端通過所述軸承與所述偏心輪的偏心小軸連接，所述偏心輪與所述電機（8）的輸出軸連接。

3.根據權利要求2所述的進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述電機（8）的所述輸出軸與所述偏心輪的連接處采用第一螺釘固定。

4.根據權利要求3所述的進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：還包括殼體（9），所述泵腔組件（1）和所述電機（8）設置在所述殼體（9）內。

5.根據權利要求4所述的進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述泵腔組件（1）通過第二螺釘固定在所述殼體（9）內。

6.根據權利要求5所述的進排氣閥縱向布置的高真空微型泵，其特征在于：所述進氣接口（4）和所述排氣接口（5）朝向所述微型泵的左側面或右側面。