[實(shí)用新型]一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022258514.0
• 申請(qǐng)日: 2020-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN212810263U
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王凱鋒;袁磊;邱道權(quán)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥中恒微半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/60;H01L29/739
• 代理公司: 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 趙娟

1.一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置，包括兩塊平行設(shè)置的固定板(1)、通過傳送帶在固定板(1)之間輸送的DBC料板(2)以及安置于上的多塊DBC基板(3)，其特征在于：兩塊所述固定板(1)之間水平設(shè)置有可豎直DBC料板(2)升降活動(dòng)的DBC定位板(5)，所述DBC定位板(5)的下方相對(duì)平行設(shè)置有可豎直升降活動(dòng)的吸盤組件(4)，所述DBC料板(2)活動(dòng)設(shè)置于DBC定位板(5)和吸盤組件(4)之間的平面上；

所述吸盤組件(4)是由底板(41)上表面設(shè)置有與DBC基板(3)相對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸附單元(42)構(gòu)成，所述吸附單元(42)通過氣孔(6)與底板(41)內(nèi)部的氣路(7)連通，且氣路(7)的出口通過支管和真空電磁閥(8)外接真空抽吸設(shè)備，且真空電磁閥(8)上設(shè)置有真空壓力表(9)，所述真空壓力表(9)與設(shè)備控制器電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置，其特征在于：所述吸附單元(42)上開設(shè)有多條相互連通的溝槽(10)，且氣孔(6)開設(shè)于溝槽(10)的底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置，其特征在于：所述DBC定位板(5)是由平板(51)內(nèi)側(cè)開設(shè)有與DBC基板(3)一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)階梯槽(52)構(gòu)成，當(dāng)DBC定位板(5)壓持到DBC料板(2)上時(shí)，階梯槽(52)壓持到對(duì)應(yīng)的DBC基板(3)上端的邊沿。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置，其特征在于：兩塊所述固定板(1)的相對(duì)側(cè)和遠(yuǎn)離側(cè)均對(duì)稱固定設(shè)置有頂升氣缸(12)，且兩組頂升氣缸(12)分別與DBC定位板(5)和吸盤組件(4)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置，其特征在于：所述DBC定位板(5)的下端面上固定安裝有套體(13)，所述套體(13)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有彈簧(14)，所述DBC定位板(5)上插設(shè)有連接螺栓(15)，且DBC定位板(5)對(duì)應(yīng)的頂升氣缸(12)的桿端固定安裝有支撐底座(11)，所述連接螺栓(15)穿過套體(13)和彈簧(14)與支撐底座(11)上的螺紋孔螺紋連接，且彈簧(14)的下端壓持于支撐底座(11)的上端面。