[實用新型]一種超薄均熱板

有效

• 申請號: 202022248481.1
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN213688009U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 唐恒;翁昌興;伍曉宇;湯勇
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: F28D15/04
• 分類號: F28D15/04;B23H1/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 陳衛;王錦霞

本實用新型涉及散熱器件的技術領域，更具體地，涉及一種超薄均熱板，包括第一平板和第二平板，第一平板和第二平板封裝且第一平板和第二平板之間形成有封閉腔體；封閉腔體內設有陣列溝槽結構，陣列溝槽結構包括蒸汽腔、凸臺及吸液芯，吸液芯、蒸汽腔均設于凸臺之間且蒸汽腔位于吸液芯上方，凸臺上下兩端分別抵接于第一平板和第二平板的內側面。本實用新型的支撐柱和回流柱、吸液芯和蒸汽腔均在加工過程中自然形成，無需額外加工得到，可簡化均熱板的內部結構設計，合理分配均熱板的內部空間，降低設計難度和制造難度，且助于減小均熱板的厚度。

技術領域

本實用新型涉及散熱器件的技術領域，更具體地，涉及一種超薄均熱板。

背景技術

隨著微電子技術和信息產業的飛速發展，電子器件的高性能、小型化、集成化已經成為現代電子設備發展的主流趨勢。電子芯片的高集成度、高功耗及小尺寸導致芯片的熱流密度大幅增加，傳熱與散熱問題越發嚴峻。超薄均熱板是由帶有吸液芯結構的薄平板焊接封裝而成的封閉腔體，具有較大的散熱面積和較好的柔性，被廣泛應用于高熱流密度的電子器件散熱。隨著超薄均熱板厚度的進一步降低，微溝槽吸液芯成為較好的選擇。目前，微溝槽吸液芯主要采用犁削-擠壓成形、激光刻蝕、化學腐蝕等特殊制造工藝進行加工，受到加工工藝的限制，加工完成后的微溝槽結構單一、精度較差，導致吸液芯毛細壓力較低、尺寸相對較大，進而影響超薄均熱板的傳熱性能和限制超薄均熱板厚度的降低，目前超薄均熱板的厚度大多在1mm以上。另外，目前超薄均熱板的吸液芯結構、蒸汽腔、回流柱以及支撐柱等關鍵組成部分無法一次加工，制造過程繁瑣復雜、效率較低。

中國專利CN103344142A公開了一種具有分形槽-孔結構的均熱板蒸發吸液芯，包括蒸發板，沿蒸發板的蒸發面的縱向和橫向陣列分布有分形槽，分形槽的槽頂有翅片形成的半封閉矩形開口的狹縫結構。上述方案雖然通過設置橫向縱向交錯分布的分形槽及在槽頂設置翅片，增加了蒸發面的比表面積，有利于提高毛細吸力及均熱板蒸發面的孔隙率、起到強化池沸騰的作用。然而，上述方案中吸液結構單一、毛細壓力的提升受限，且上述方案的吸液芯中缺乏回流柱及支撐柱，應用時需另外加工回流柱及支撐柱，無疑大大增加其應用難度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中的不足，提供一種超薄均熱板，吸液芯、蒸汽腔和回流柱在加工時自然形成，無需額外加工回流柱及支撐柱，設計難度和制造難度低，有利于減小均熱板厚度。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：

提供一種超薄均熱板，包括第一平板和第二平板，第一平板和第二平板封裝且第一平板和第二平板之間形成有封閉腔體；所述封閉腔體內設有陣列溝槽結構，所述陣列溝槽結構包括蒸汽腔、凸臺及吸液芯，所述吸液芯、蒸汽腔均設于凸臺之間且所述蒸汽腔位于吸液芯上方，所述凸臺上下兩端分別抵接于第一平板和第二平板的內側面。

本實用新型的超薄均熱板，使用時對封閉腔體抽真空和灌注工作介質，凸臺既可作為液態工作介質的回流柱，又可作為防止超薄均熱板凹陷/膨脹的支撐柱，吸液芯、蒸汽腔和回流柱同時加工成型，無需額外增加回流柱和支撐柱，蒸汽腔和吸液芯上下布置且同位于陣列溝槽結構內，可簡化均熱板的內部結構設計，合理分配均熱板的內部空間，設計難度和制造難度低，助于減小均熱板的厚度。

進一步地，所述封閉腔體設于第一平板，所述第二平板為表面平整的板狀結構，所述凸臺的高度與封閉腔體的深度相等。

進一步地，所述吸液芯包括若干呈多行多列整齊排布的微凹坑，所述微凹坑四周環繞有翅片。

進一步地，若干翅片的頂部凹陷形成有第一弧面結構，所述微凹坑底面凹陷形成有第二弧面結構。

進一步地，所述翅片包括第一翅片和第二翅片，所述第一翅片緊鄰于微凹坑四周，所述第二翅片位于相鄰凸臺之間。

進一步地，所述第二翅片為溝槽結構，且所述第二翅片的頂面高度與第一翅片的頂面高度相等。