[實用新型]單晶硅檢測樣片專用石英舟

有效

• 申請號: 202022248141.9
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN213327941U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 祁海濱;冉澤平;謝國榮;倪浩然;李金波;王忠保;王凱
• 申請（專利權）人: 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02;G01N1/28
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 曹廣濤

一種單晶硅檢測樣片專用石英舟，包括第一連接板、第二連接板、檢測樣片支撐桿、防變形固定件，第一連接板、第二連接板對向設置，檢測樣片支撐桿設置在第一連接板、第二連接板之間，檢測樣片支撐桿的兩個端部分別與第一連接板、第二連接板相連接，檢測樣片支撐桿上設置有卡槽，檢測樣片支撐桿呈U形結構排列，防變形固定件設置在檢測樣片支撐桿的下方；本實用新型對石英舟結構進行優化設計，能夠將檢測樣片豎直放置，防止檢測樣片向兩側偏倒，避免應力集中對處理效果造成影響，防變形固定件對檢測樣片支撐桿具有固定約束作用，在檢測樣片支撐桿熱脹冷縮后，可以防止檢測樣片支撐桿發生變形，導致檢測樣片損毀及石英舟損傷的現象發生。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅生產輔助設備技術領域，尤其涉及一種單晶硅檢測樣片專用石英舟。

背景技術

CZ法直拉單晶硅在長晶過程中會有缺陷生成，部分缺陷會對產品造成較為明顯的負面影響。因此，單晶硅產品需要對缺陷進行檢測，以控制產品質量或反應工藝改進效果。為了更好地顯現缺陷，檢測樣片需要使用對應熱處理工藝進行高溫退火處理，缺陷會在高溫下形核長大。檢測樣片放置在對應尺寸石英舟中，然后放置在橫式熱處理爐中進行退火處理，為缺陷檢測進行預處理。石英舟在多次經歷高溫熱處理后，因為熱脹冷縮問題會造成變形，造成樣片無法整齊擺放，樣片之間容易相互搭接，對處理效果造成影響，同時，偏倒的樣片容易與卡槽形成非正常接觸，熱處理過程中，熱脹冷縮導致檢出點擠壓，出現應力集中，輕者，集中的應力會導致缺陷生成，嚴重時，會造成檢測樣片損毀，甚至損傷石英舟，造成成本升高。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種單晶硅檢測樣片專用石英舟。

一種單晶硅檢測樣片專用石英舟，包括第一連接板、第二連接板、檢測樣片支撐桿、防變形固定件，所述第一連接板、第二連接板對向設置，所述檢測樣片支撐桿設置在第一連接板、第二連接板之間，檢測樣片支撐桿的兩個端部分別與第一連接板、第二連接板相連接，檢測樣片支撐桿上設置有卡槽，卡槽的尺寸與檢測樣片的尺寸相匹配，檢測樣片支撐桿呈弧形排列，使檢測樣片支撐桿圍成一個用于支撐檢測樣片的U形結構，所述防變形固定件設置在檢測樣片支撐桿的下方。

優選的，所述第一連接板、第二連接板上均設置有用于連接檢測樣片支撐桿的連接孔。

優選的，所述檢測樣片支撐桿包括底部支撐桿、左側支撐桿、右側支撐桿，所述底部支撐桿設置在第一連接板、第二連接板之間，底部支撐桿的兩個端部分別與第一連接板、第二連接板下部設置的連接孔相連接，所述左側支撐桿、右側支撐桿設置在第一連接板、第二連接板之間，左側支撐桿、右側支撐桿分別對向設置在底部支撐桿兩側的側上方，左側支撐桿、右側支撐桿的兩個端部分別與第一連接板、第二連接板中部設置的連接孔相連接。

優選的，所述底部支撐桿的數量是兩個。

優選的，所述左側支撐桿、右側支撐桿之間的距離大于底部支撐桿之間的距離。

優選的，所述防變形固定件呈U形，防變形固定件的底部上表面及兩側內壁的上端位置均開設有用于底部支撐桿、左側支撐桿、右側支撐桿嵌入的定位槽。

優選的，所述防變形固定件的數量是至少兩個，且防變形固定件沿底部支撐桿的軸向方向等距設置。

優選的，所述第一連接板、第二連接板的上部均開設有通孔。