[實用新型]一種制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置

有效

• 申請號: 202022247713.1
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN212848330U
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 宋艷汝;楊瑾屏;劉志
• 申請（專利權）人: 上海科技大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 徐俊

1.一種制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，包括晶圓對準裝置及用于壓實晶圓的承重砝碼，所述晶圓對準裝置上設有與承載晶圓相配合的晶圓槽(3)，所述承載晶圓貼于玻璃窗晶圓的玻璃窗一側，晶圓槽(3)的邊緣設有用于夾取晶圓的鑷子槽(2)。

2.如權利要求1所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，所述承載晶圓的材料為藍寶石、硅、玻璃；所述承載晶圓與所述玻璃窗晶圓之間通過光刻膠、油脂或石蠟粘接。

3.如權利要求1所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，所述晶圓對準裝置的兩側分別設有把手(1)；所述把手(1)與晶圓對準裝置為一體結構或通過螺絲與晶圓對準裝置連接固定。

4.如權利要求3所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，所述把手(1)的截面為正方形或圓形。

5.如權利要求1所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，所述承重砝碼包括砝碼(4)，砝碼(4)上設有砝碼抓手(5)。

6.如權利要求5所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，所述砝碼抓手(5)的橫截面為正方形、圓形或長方形；所述砝碼(4)的底面不超過晶圓的外緣。

7.如權利要求1所述的制備超導探測器玻璃窗時所需的晶圓鍵合裝置，其特征在于，晶圓鍵合裝置的材質為銅或鋁。