[實用新型]一種單晶圓棒搬運小車有效
| 申請號: | 202022246596.7 | 申請日: | 2020-10-12 |
| 公開(公告)號: | CN213738421U | 公開(公告)日: | 2021-07-20 |
| 發明(設計)人: | 王立明;郭鵬;任勇祥;郭敏杰;高明霞;楊進;張立達;辛玉龍;馮宜平 | 申請(專利權)人: | 山西潞安太陽能科技有限責任公司 |
| 主分類號: | B66F7/20 | 分類號: | B66F7/20;B66F7/28 |
| 代理公司: | 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
| 地址: | 046000 山*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶圓棒 搬運 小車 | ||
1.一種單晶圓棒搬運小車,其特征在于:包括小車(4)、通過液壓裝置(5)安裝在小車(4)上的豎直升降的水平支撐板(1),水平支撐板(1)上安裝有多個轉架(2),多個轉架(2)成對稱的兩列布置,單晶圓棒在搬運過程中放置在轉架(2)的兩列的中央,每個轉架(2)包括帶傾斜面的固定塊(21)、安裝在固定塊(21)上的軸承座(23)、安裝在軸承座(23)上軸承(22),多個轉架(2)在縱向成兩列,在橫向成多排,橫向的每行的兩個轉架(2)的固定塊(21)的傾斜面都朝內。
2.根據權利要求1所述的一種單晶圓棒搬運小車,其特征在于:每個固定塊(21)上的軸承座(23)有多排,每個軸承座(23)上都安裝有軸承(22)。
3.根據權利要求1所述的一種單晶圓棒搬運小車,其特征在于:小車(4)上有車輪(6)和扶手(3)。
4.根據權利要求1所述的一種單晶圓棒搬運小車,其特征在于:液壓裝置(5)為四個液壓缸,每個液壓缸的缸體都安裝在小車(4)上,每個液壓缸的伸縮臂都安裝在水平支撐板(1)底部。
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