[實用新型]線針翻蓋測試模組治具

有效

• 申請號: 202022239794.0
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN213091821U
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 陳恩環;張卡;鈔金龍
• 申請（專利權）人: 蘇州尚實豪精密機械科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本實用新型公開了線針翻蓋測試模組治具，包括底座、夾持座、檢測裝置和用于固定芯片的固定盤裝置，固定盤裝置連接在底座上，檢測裝置包括彈性載板、伸縮柱和用于檢測芯片的檢測模組，彈性載板和檢測模組通過旋轉軸轉動連接，伸縮柱連接在彈性載板的底面，伸縮柱的底端連接在底座上；夾持座連接在底座上，夾持座包括安裝座和活動卡塊，活動卡塊和安裝座通過扭簧軸轉動連接，檢測模組上連接有壓塊，檢測模組檢測芯片時，壓塊和活動卡塊卡合連接；本裝置采用先旋轉后下壓的結構，使得檢測針到位后在測試孔壁中垂直下降完成測試，保證測試過程中不會損壞芯片。

技術領域

本實用新型涉及芯片檢測技術領域，具體涉及線針翻蓋測試模組治具。

背景技術

半導體組件的制造過程，大致上可分為晶圓制作、晶圓測試、封裝及最后的測試，在晶圓上制作電路及電子元件（如晶體管、電容、邏輯開關等），制作完成之后，晶圓變成一格格的芯片，接著對芯片進行相關測試，通常包括電壓、電流、時序和功能等。

現有技術中對芯片進行測試，通常采用具有探針的測試模組對芯片進行測試，測試過程需固定芯片，然后通過探針插入芯片上的測試孔完成對芯片的測試。芯片示意圖如圖1所示?，F有的測試模組，測試時會出現探針和芯片測試孔壁接觸的情況，此種狀況會損壞芯片。另外，通過探針的使用壽命也比較短。

發明內容

本實用新型的目的在于提供線針翻蓋測試模組治具，以解決現有技術中導致的測試過程中會損壞芯片的問題。

為達到上述目的，本實用新型是采用下述技術方案實現的：

線針翻蓋測試模組治具，包括底座、夾持座、檢測裝置和用于固定芯片的固定盤裝置，所述固定盤裝置連接在所述底座上，所述檢測裝置包括彈性載板、伸縮柱和用于檢測芯片的檢測模組，所述彈性載板和所述檢測模組通過旋轉軸轉動連接，所述伸縮柱連接在所述彈性載板的底面，所述伸縮柱的底端連接在所述底座上；

所述夾持座連接在所述底座上，所述夾持座包括安裝座和活動卡塊，所述活動卡塊和所述安裝座通過扭簧軸轉動連接，所述檢測模組上連接有壓塊，所述檢測模組檢測芯片時，所述壓塊和所述活動卡塊卡合連接。

進一步地，所述夾持座和壓塊均有兩個，兩個所述夾持座對稱連接在所述彈性載板的兩側，兩個所述壓塊對稱連接在所述檢測模組的兩側。

進一步地，所述彈性載板的形狀為U形，所述底座上設有安裝槽，所述安裝槽位于所述彈性載板的U形槽內，所述固定盤裝置連接在所述安裝槽內。

進一步地，所述固定盤裝置包括載具盤和限位座，所述限位座連接在所述載具盤的頂面，所述限位座用于放置芯片。

進一步地，所述載具盤上連接有磁鐵，所述磁鐵位于所述限位座內。

進一步地，所述檢測模組包括線針檢測頭和檢測安裝板，所述線針檢測頭的檢測端連接在所述檢測安裝板的底面。

進一步地，所述檢測安裝板的底面連接有導柱，所述載具盤上連接有導柱座，所述導柱可伸縮連接在所述導柱座內。

根據上述技術方案，本實用新型的實施例至少具有以下效果：

1、本裝置在進行芯片檢測時，將檢測模組轉向彈性載板處，然后下壓檢測模組，使檢測模組上連接的壓塊卡合在活動卡塊中完成芯片的檢測，此種先旋轉后下壓的結構，使得檢測針到位后在測試孔壁中垂直下降完成測試，保證測試過程中不會損壞芯片；

2、本裝置的夾持座和壓塊設計有兩個，保證了檢測模組旋轉下壓后固定的穩定性；

3、載具盤上設置的限位座能夠有效的實現對芯片左右先后位置的限制，限位座內設有磁鐵，磁鐵能夠吸合芯片，保證了對芯片限位和固定效果；

4、本裝置的檢測針采用線針檢測頭，相比傳統的探針線針檢測頭的使用壽命更久。

附圖說明