[實用新型]一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽有效
| 申請號： | 202022237145.7 | 申請日： | 2020-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN213624447U | 公開（公告）日： | 2021-07-06 |
| 發明（設計）人： | 王慧穎;謝立東;陳文國;王瑞;孔德劍 | 申請（專利權）人： | 曲靖師范學院 |
| 主分類號： | C25D17/02 | 分類號： | C25D17/02;C25D17/00;C25D21/18;C25D21/10;C25D21/12;C25D21/04;C25D5/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 云南省曲靖市專利事務所 53104 | 代理人： | 周厚明 |
| 地址： | 655011 云南*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 mems 器件 制造 電化學 沉積 | ||
1.一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，包括外鍍槽體（1）和內鍍槽體（2），其特征在于：外鍍槽體（1）為頂部開口的圓柱形腔體，外鍍槽體（1）底部連接有回流管（5），回流管（5）上連接有泵（3），泵（3）上連接有進/出液管（4），進/出液管（4）上設有閥門；內鍍槽體（2）為頂部開口底部為弧形的圓柱形腔體，內鍍槽體（2）直徑小于外鍍槽體（1）直徑，內鍍槽體（2）置于外鍍槽體（1）內中心，內鍍槽體（2）頂部與外鍍槽體（1）頂部密封固定，外鍍槽體（1）內壁與內鍍槽體（2）外壁形成一密封腔體，外鍍槽體（1）和內鍍槽體（2）頂部設有可開啟/關閉的密封蓋（12），所述密封蓋（12）位于內鍍槽體（2）開口頂部設有真空計（10）和抽真孔（11）；所述內鍍槽體（2）底部中心通過管道與泵（3）連接，內鍍槽體（2）內設置有攪拌器槳葉（6）、遮蔽板（7）、陰極板（8）、陽極板（14）和振蕩器（15），所述遮蔽板（7）上均布有圓孔；所述內鍍槽體（2）上設有陰極排液口（9）和陽極排液口（13）。
2.根據權利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，其特征在于：所述攪拌器為磁力攪拌器，攪拌器槳葉（6）通過十字形支架（16）可水平旋轉固定在內鍍槽體（2）內。
3.根據權利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，其特征在于：所述遮蔽板（7）通過一字形支架（17）豎直固定在內鍍槽體（2）中心，遮蔽板（7）位于攪拌器槳葉（6）上方。
4.根據權利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，其特征在于：所述振蕩器（15）對稱設置在攪拌器槳葉（6）兩側內鍍槽體（2）內壁上。
5.根據權利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，其特征在于：所述陰極板（8）和陽極板（14）對稱設置在內鍍槽體（2）內壁上，陰極板（8）和陽極板（14）與遮蔽板（7）板面中心垂直。
6.根據權利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學沉積鍍槽，其特征在于：所述陰極排液口（9）和陽極排液口（13）分別位于陰極板（8）和陽極板（14）上方。
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