[實用新型]一種用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022220865.2
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN214020071U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設計）人: 陳簫簫
• 申請（專利權）人: 亞芯半導體材料（江蘇）有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 趙慧

1.一種用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

尾氣接收裝置，用于連接高純鎢坯體制備設備以接收尾氣，并運輸尾氣；

堿式噴淋裝置，用于接收尾氣接收裝置輸出的尾氣，并向尾氣噴淋堿液，生成氟化鈣沉淀物；和

燃燒裝置，連接堿式噴淋裝置，用于燃燒經(jīng)堿式噴淋裝置噴淋后尾氣中殘余氫氣，以生成水蒸氣高空排放；以及

沉淀物回收裝置，用于回收堿式噴淋裝置生成的氟化鈣沉淀物。

2.如權利要求1所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述尾氣接收裝置包括：連接高純鎢坯體制備設備的尾氣回收倉；

所述尾氣回收倉適于通入高純鎢坯體制備設備生成的尾氣，并將尾氣輸送至堿式噴淋裝置。

3.如權利要求2所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述堿式噴淋裝置包括：連接所述尾氣回收倉的堿式噴淋塔、氫氧化鈣溶液儲存罐；

所述堿式噴淋塔頂部設置有連接氫氧化鈣溶液儲存罐的噴淋頭，即

尾氣通入堿式噴淋塔后，所述氫氧化鈣溶液儲存罐中氫氧化鈣溶液通過噴淋頭噴向尾氣，以去除尾氣中氟化氫和相應有害氟化物，并生成氟化鈣沉淀物。

4.如權利要求3所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述堿式噴淋塔內壁軸向方向開設有若干導流槽，以使堿式噴淋塔內壁上噴淋的氫氧化鈣溶液沿導流槽流至堿式噴淋塔底部。

5.如權利要求4所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述堿式噴淋塔底部開設有若干通孔，且各通孔連接廢液接收罐。

6.如權利要求5所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述廢液接收罐中設置有活性炭，用于吸附廢液中顆粒物。

7.如權利要求3所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述燃燒裝置包括：連接堿式噴淋塔的閉式燃燒塔；

所述閉式燃燒塔適于燃燒經(jīng)噴淋后尾氣中殘余氫氣，以生成水蒸氣高空排放。

8.如權利要求1所述的用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述沉淀物回收裝置包括：氟化鈣沉淀物回收倉；

所述氟化鈣沉淀物回收倉適于儲存氟化鈣沉淀物。