[實(shí)用新型]一種整體式還原爐視鏡有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022220849.3 | 申請(qǐng)日： | 2020-10-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN213506010U | 公開（公告）日： | 2021-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 盛斌;朱敏;孫磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇雙良新能源裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01B33/035 | 分類號(hào)： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 劉小紅 |
| 地址： | 214444 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 整體 還原 爐視鏡 | ||
本實(shí)用新型涉及一種整體式還原爐視鏡，包括錐管、第一法蘭、第二法蘭、波紋管組件、石英玻璃、氫氣緩沖腔、緊固件和密封墊，所述石英玻璃設(shè)有兩塊，分別夾在錐管和第一法蘭之間、第一法蘭和第二法蘭之間，所述錐管采用整體鍛造加工，所述波紋管組件套焊在錐管的外側(cè)，所述波紋管組件和錐管之間形成冷卻水腔，所述錐管在冷卻水腔內(nèi)部不設(shè)有任何焊縫，所述氫氣緩沖腔與錐管上部焊接。本實(shí)用新型采用圓弧、流線型設(shè)計(jì)，大幅降低結(jié)構(gòu)應(yīng)力，同時(shí)避免了冷卻腔體內(nèi)的焊縫，大大提升還原爐視鏡的可靠性與可維性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種整體式還原爐視鏡。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)下，改良西門子法生產(chǎn)多晶硅是國(guó)內(nèi)、國(guó)際上生產(chǎn)多晶硅的主流成熟工藝，其中還原爐是該工藝的核心設(shè)備，特定比例的混合氣體在多晶硅芯棒表面氣相沉積，生成多晶硅，硅芯棒與石墨卡瓣的結(jié)合情況，以及爐內(nèi)的反應(yīng)溫度都是通過(guò)視鏡監(jiān)測(cè)，因此視鏡是還原爐一個(gè)關(guān)鍵組成部分。為方便設(shè)置氫氣吹掃腔，目前的視鏡如圖1所示采用不銹鋼材質(zhì)的法蘭與錐管焊接而成，焊縫位于冷卻水腔體內(nèi)部，由于還原爐是間歇性運(yùn)行的設(shè)備，每120小時(shí)就需要啟停一次，所以視鏡在實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中受交變應(yīng)力及氯離子影響，焊縫等部位很容易發(fā)生應(yīng)力腐蝕裂紋，一旦出現(xiàn)裂紋，冷卻水就會(huì)進(jìn)入混合物料腔體內(nèi)，造成多晶硅污染，還原爐停用，最嚴(yán)重的可能會(huì)出現(xiàn)安全事故。又因?yàn)槠浜缚p位于內(nèi)側(cè)，無(wú)法補(bǔ)焊維修，必需要更換整個(gè)視鏡，維修周期非常長(zhǎng)，嚴(yán)重影響生產(chǎn)，非常不便。
因此，研發(fā)一種全新的、穩(wěn)定可靠視鏡十分有必要。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供了一種整體式還原爐視鏡，結(jié)構(gòu)合理，錐管整體鍛造成型，錐管在冷卻水腔內(nèi)部不存在焊縫，因此不會(huì)出現(xiàn)裂紋，冷卻水也就不會(huì)進(jìn)入混合物料腔體內(nèi)，混合物料腔和冷卻水腔相互獨(dú)立，大大提升視鏡的可靠性及可維性，保證了多晶硅的安全生產(chǎn)。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：
一種整體式還原爐視鏡，包括錐管、第一法蘭、第二法蘭、波紋管組件、石英玻璃、氫氣緩沖腔、緊固件和密封墊，所述石英玻璃設(shè)有兩塊，分別夾在錐管和第一法蘭之間、第一法蘭和第二法蘭之間，所述錐管采用整體鍛造加工，所述波紋管組件套焊在錐管的外側(cè)，所述波紋管組件和錐管之間形成冷卻水腔，所述錐管在冷卻水腔內(nèi)部不設(shè)有任何焊縫，所述氫氣緩沖腔與錐管上部焊接。
優(yōu)選的，所述錐管為兩頭寬中間窄的腰形結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的，所述錐管的內(nèi)孔為上窄下寬的喇叭形結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的，所述錐管的內(nèi)外結(jié)構(gòu)變化處均采用圓弧過(guò)渡。
優(yōu)選的，所述錐管與氫氣緩沖腔的焊縫位于錐管內(nèi)部，焊縫在焊接后需二次加工平整。
本實(shí)用新型的有益效果是：
本實(shí)用新型采用圓弧、流線型設(shè)計(jì)，大幅降低結(jié)構(gòu)應(yīng)力，同時(shí)避免了冷卻腔體內(nèi)的焊縫，大大提升還原爐視鏡的可靠性與可維性。
附圖說(shuō)明
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的還原爐視鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中：錐管1；內(nèi)孔1.1；第一法蘭2；第二法蘭3；波紋管組件4；石英玻璃5；緊固件7；密封墊8；冷卻水腔9。
具體實(shí)施方式
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