[實用新型]一種旋轉靶材多段連接噴涂裝置

有效

• 申請號: 202022210506.9
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213886751U
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 張向東;楊太禮;張文勇;王磊
• 申請（專利權）人: 南陽利達光電有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05B12/20
• 代理公司: 北京隆達恒晟知識產權代理有限公司 11899
• 代理人: 時移

本實用新型公開了一種旋轉靶材多段連接噴涂裝置，包括襯管、單向法蘭、雙項法蘭、固定芯軸、緊固螺母，所述襯管一端設有單向法蘭，另一端設有雙向法蘭，所述單向法蘭與雙向法蘭的中心位置均開設有通孔，所述通孔內套裝有固定芯軸，所述固定芯軸的兩端均旋裝有緊固螺母。本實用新型結構簡單緊湊、制造成本低，操作時方便快捷，在噴涂過程襯管的密封良好不漏水，跳動穩定，靶材兩端保護距離穩定可控，多支噴涂涂層質量與單支噴涂涂層質量相同，有效的節省了大量安裝、拆卸、開機準備工作，生產效率明顯提高。

技術領域

本實用新型屬于靶材技術領域，具體涉及一種旋轉靶材多段連接噴涂裝置。

背景技術

濺射靶材主要應用于電子、信息產業，如集成電路、光通信、信息存儲等；還可應用于裝飾、太陽能光伏、建筑汽車大面積玻璃、平面顯示、光學等領域，在現有技術中，發明專利CN 108570637 A公開了一種熱噴涂旋轉靶材設備工裝，包括驅動裝置、冷卻裝置、尾座、鎖緊等裝置。目前生產等噴涂靶材大多采用這種結構，但是該結構在生產時安裝、卸載麻煩，特別是在有密封艙保護的正壓、負壓或氣氛保護下，需要抽真空、充氣、再抽氣等過程，需要時間較長，生產效率低下。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，提供了一種多段靶材串聯組合，實現一次安裝噴涂多支靶材，提高熱噴涂生產效率的旋轉靶材多段連接噴涂裝置。

為了達到上述設計目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種旋轉靶材多段連接裝置，包括襯管、單向法蘭、雙項法蘭、固定芯軸、緊固螺母，所述襯管一端設有單向法蘭，另一端設有雙向法蘭，所述單向法蘭與雙向法蘭的中心位置均開設有通孔，所述通孔內套裝有固定芯軸，所述固定芯軸的兩端均旋裝有緊固螺母。

所述單向法蘭與雙向法蘭的通孔周邊均布有通水孔。

所述單向法蘭的一側與雙向法蘭的兩側外沿處均設有保護套，所述保護套可根據噴涂靶材的涂層厚度來設計為多種尺寸。

所述單向法蘭的一側與雙向法蘭的兩側均設有與襯管內壁相配合的環型凸臺，所述環型凸臺的外壁上開設有環型密封槽，所述環型密封槽內套卡有密封膠圈。

所述密封膠圈采用氟橡膠、硅橡膠和丁腈橡膠材料的任意一種制成。

所述固定芯軸為空心結構，其固定芯軸的直線度和兩端的同軸度均為0.05mm。

所述固定芯軸的長度可根據生產需求設置為多個不同型號，其固定芯軸上套裝的單向法蘭和雙向法蘭可根據生產需求隨意添加更換。

本實用新型有益效果：單向法蘭的一側與雙向法蘭的兩側均設置的與襯管內壁相配合的環型凸臺，而環型凸臺的外壁上開設的環型密封槽及環型密封槽內套卡的密封膠圈，在實際生產時可以較好的減小襯管的跳動問題，固定芯軸為空心結構，具備中間可以通冷卻水功能，固定芯軸兩端有旋裝的緊固螺母，有效的降低了襯管跳動現象，防止在噴涂過程中由于旋轉松動，單向法蘭的一側與雙向法蘭的兩側外沿處均設置的保護套主要是為了保護襯管端頭的加工部分。本實用新型結構簡單緊湊、制造成本低，操作時方便快捷，提高了襯管在噴涂過程襯管的密封良好不漏水，跳動，靶材兩端保護距離穩定可控，多支噴涂涂層質量與單支噴涂涂層質量相同，有效的節省了大量安裝、拆卸、開機準備工作，生產效率明顯提高。

附圖說明

圖 1 為本實用新型一種旋轉靶材多段連接噴涂裝置示意圖；

圖2為本實用新型一種旋轉靶材多段連接噴涂裝置剖視示意圖；

圖3為本實用新型雙向法蘭側視示意圖。

具體實施方式