[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022209260.3
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213266791U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王家武;楊定永;張順祥;阿鳳雄;羅應(yīng)強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 云南全控機(jī)電有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06;C30B31/16;H01L31/18
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本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域的一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐主體，所述擴(kuò)散爐主體左端設(shè)置有石英爐門，所述石英爐門內(nèi)側(cè)設(shè)置有保溫桶，所述擴(kuò)散爐主體內(nèi)部固定設(shè)置有滑道，所述滑道上滑動裝配有石英舟，所述石英舟的左邊設(shè)置有擋板，所述擋板通過吊環(huán)掛設(shè)在擴(kuò)散爐主體內(nèi)壁頂端，所述石英舟上方設(shè)置有噴淋管，所述石英舟下方設(shè)置有排廢管，所述排廢管旁邊設(shè)置有TC管，所述噴淋管和排廢管均從擴(kuò)散爐主體右端穿入，所述擴(kuò)散爐主體右端中間固定設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管內(nèi)側(cè)設(shè)置有勻流板。本實(shí)用性性通過以上設(shè)計(jì)優(yōu)化，結(jié)構(gòu)簡單，密封效果好，噴淋管噴淋均勻，保溫隔熱效果好，提高了擴(kuò)散均勻性，實(shí)用性強(qiáng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐。

背景技術(shù)

常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。光伏發(fā)電是利用太陽光能使半導(dǎo)體電子器件有效地吸收太陽光輻射能，并使之轉(zhuǎn)變成電能的直接發(fā)電方式，是當(dāng)今太陽光發(fā)電的主流。時下，人們通常所說太陽光發(fā)電就是太陽能光伏發(fā)電，亦稱太陽能電池發(fā)電?？梢詫⑻柲苤苯愚D(zhuǎn)換成電能，其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。其中，晶體硅太陽能電池由于豐富的硅儲量得到了廣泛應(yīng)用。

現(xiàn)有的晶體硅太陽能電池的制備工藝如下：清洗制絨→擴(kuò)散→刻蝕/去PSG→PECVD→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)→測試分檔→分選→包裝。其中擴(kuò)散工序通常采用擴(kuò)散爐，攜帶有擴(kuò)散源的載氣進(jìn)入擴(kuò)散爐中對待擴(kuò)散晶體硅進(jìn)行擴(kuò)散。

然而，實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)：現(xiàn)有的石英擴(kuò)散爐的密封效果不好、噴淋管噴淋不均勻和隔熱不好，導(dǎo)致浪費(fèi)了很多能源，降低了生產(chǎn)效率，對生產(chǎn)工藝產(chǎn)生很大影響。為此，我們提出一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體制備擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐主體，所述擴(kuò)散爐主體左端設(shè)置有石英爐門，所述石英爐門內(nèi)側(cè)設(shè)置有保溫桶，所述擴(kuò)散爐主體內(nèi)部固定設(shè)置有滑道，所述滑道上滑動裝配有石英舟，所述石英舟的左邊設(shè)置有擋板，所述擋板通過吊環(huán)掛設(shè)在擴(kuò)散爐主體內(nèi)壁頂端，所述石英舟上方設(shè)置有噴淋管，所述石英舟下方設(shè)置有排廢管，所述排廢管旁邊設(shè)置有TC管，所述噴淋管和排廢管均從擴(kuò)散爐主體右端穿入，所述擴(kuò)散爐主體右端中間固定設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管內(nèi)側(cè)設(shè)置有勻流板。

優(yōu)選的，所述石英爐門內(nèi)側(cè)邊沿處設(shè)置有環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)置有密封圈，所述環(huán)形凹槽內(nèi)側(cè)設(shè)置有圓形凸臺，所述環(huán)形凹槽卡在擴(kuò)散爐主體左端口上，所述圓形凸臺卡進(jìn)擴(kuò)散爐主體左端口內(nèi)。

優(yōu)選的，所述保溫桶由多組結(jié)構(gòu)相同的石英片和石英支柱組成，且所述石英片相互平行，所述石英片為不透明石英材質(zhì)，所述石英片之間通過石英支柱焊接連接。

優(yōu)選的，所述噴淋管上均勻開設(shè)有若干組噴淋孔，所述噴淋孔的直徑從右至左逐漸增大，所述噴淋管內(nèi)通入噴淋保護(hù)氣體三氯氧磷。

優(yōu)選的，所述勻流板上均勻設(shè)置有若干組結(jié)構(gòu)相同的散氣孔。

優(yōu)選的，所述TC管設(shè)置有熱電偶，所述進(jìn)氣管內(nèi)通入氧氣。

優(yōu)選的，所述擴(kuò)散爐主體內(nèi)壁上焊接有固定環(huán)，所述噴淋管上設(shè)置有三組固定環(huán)，所述排廢管上設(shè)置有三組固定環(huán)，所述TC管上設(shè)置有兩組固定環(huán)。