[實用新型]一種紅外探測器材料的像元臺面

有效

• 申請號: 202022204756.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN215070007U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 鄧功榮;楊文運;李德香;唐遙;張偉偉;杜潤來;黎秉哲;趙鵬;黃暉
• 申請（專利權）人: 昆明物理研究所
• 主分類號: H01L31/109
• 分類號: H01L31/109;H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/18
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 周蜜

1.一種紅外探測器材料的像元臺面，其特征在于：所述紅外探測器材料結構為PBn和nBn型InAsSb紅外探測器材料結構；所述紅外探測器材料結構從上向下依次為頂電極接觸層(1)、勢壘層(2)、吸收層(3)、底電極接觸層(4)、緩沖層(5)以及襯底(6)；

頂電極接觸層(1)和勢壘層(2)上部構成像元臺面，像元臺面的尺寸為15μm×15μm～30μm×30μm，高度為320nm～380nm。

2.根據權利要求1所述的一種紅外探測器材料的像元臺面，其特征在于：

所述頂電極接觸層(1)的厚度為300nm；

所述勢壘層(2)的厚度為100nm～200nm；

所述吸收層(3)的厚度為2000nm～3000nm；

所述底電極接觸層(4)的厚度為200nm～500nm；

所述緩沖層(5)的厚度為50nm～200nm。