[實用新型]一種集成電路制造用輸送裝置

有效

• 申請號: 202022195431.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213264227U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 卜華生;張英宏;呂生武
• 申請（專利權）人: 深圳市天地通電子有限公司
• 主分類號: B65G23/04
• 分類號: B65G23/04;B65G69/18;H01L21/677
• 代理公司: 深圳匯策知識產權代理事務所(普通合伙) 44487
• 代理人: 梁超

1.一種集成電路制造用輸送裝置，包括主體(1)、除塵扇(7)和驅動電機(11)，其特征在于：所述主體(1)的頂端安裝有安裝柱(2)，且安裝柱(2)的前端安裝有銜接桿(3)，所述銜接桿(3)的內部開設有卡槽(5)，且卡槽(5)的內部設置有卡塊(6)，所述卡塊(6)的頂端固定有防塵板(4)，且防塵板(4)的頂端焊接有金屬伸縮管(8)，所述驅動電機(11)安裝于靠近主體(1)中軸線的一側，且驅動電機(11)的前端安裝有散熱風扇(17)，所述散熱風扇(17)的后端固定有固定框(10)，且固定框(10)的后端安裝有安裝板(9)，所述驅動電機(11)的前端外壁安裝有傳送帶(12)，且傳送帶(12)的內部上方后端固定有齒輪(13)，所述主體(1)的頂端內部安裝有傳送放置板(16)，且傳送放置板(16)的前端安裝有電動伸縮桿(14)，所述電動伸縮桿(14)的頂端固定有棕毛刷(15)，所述除塵扇(7)安裝于主體(1)的頂端左側。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述安裝柱(2)設置有兩個，且安裝柱(2)關于主體(1)的垂直中線呈對稱分布，而且安裝柱(2)與主體(1)之間為焊接。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述驅動電機(11)與主體(1)之間為一體化結構，且驅動電機(11)與傳送帶(12)之間為活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述防塵板(4)為矩形狀，且防塵板(4)與金屬伸縮管(8)之間為焊接。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述金屬伸縮管(8)分別關于防塵板(4)的垂直中線呈等距離分布，且防塵板(4)與卡塊(6)之間為固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述卡塊(6)為矩形狀，且卡塊(6)與卡槽(5)之間為卡合連接。

7.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述電動伸縮桿(14)與主體(1)之間為一體化結構，且電動伸縮桿(14)與棕毛刷(15)之間為緊密貼合。

8.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用輸送裝置，其特征在于：所述除塵扇(7)為圓形狀，且除塵扇(7)與主體(1)之間為焊接。