[實用新型]一種高純氬氣純化裝置

有效

• 申請號: 202022186936.1
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號: CN213528016U
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 程長圣;陳正;程長亮
• 申請（專利權）人: 河南省科榮氣體設備有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02;F28D7/16;C01B23/00
• 代理公司: 河南大象律師事務所 41129
• 代理人: 李記輝

1.一種高純氬氣純化裝置，其特征在于，包括通過管道依次相連接的穩壓閥、換熱除氧機構、冷卻器、冷干機、吸附器、過濾器、背壓閥、流量檢測計，在流量檢測計的出口管路上分設有純氣出口分支管路、放空分支管路，且在流量檢測計的出口管路上設有氣體成分檢測計；

所述換熱除氧機構包括換熱器，換熱器的第一進口與穩壓閥相連通，換熱器的第一出口與加熱器相連通，加熱器與除氧器進口相連通，除氧器出口折回再與換熱器的第二進口相連通，換熱器的第二出口與冷卻器相連通；

所述吸附器包括兩個并聯設置的兩個分吸附器，所述兩個分吸附器的進口端之間通過進口閥門組相連接，兩個分吸附器的出口端之間通過出口閥門組相連接，進口閥門組和出口閥門組用于控制兩個分吸附器互相備用交替工作，所述冷干機的出口與進口閥門組相連接，過濾器的進口與出口閥門組相連接。

2.根據權利要求1所述的高純氬氣純化裝置，其特征在于，在分吸附器與進口閥門組之間設有干燥器，在進口閥門組與放空分支管路之間設有真空泵。

3.根據權利要求1或2所述的高純氬氣純化裝置，其特征在于，所述換熱器的排污分管與冷卻器的排污分管匯合后形成排污總管，排污總管的末端、冷卻器進水管末端、冷卻器出水管末端均設置在同側。