[實用新型]刻蝕機核心部件流轉箱

有效

• 申請號: 202022178449.0
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號: CN214357327U
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 賈昆良
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: B65D6/24
• 分類號: B65D6/24;B65D25/24;B65D25/02
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所(普通合伙) 32219
• 代理人: 陳秀蘭

本實用新型公開了一種刻蝕機核心部件流轉箱，包括平板腳輪、框架，所述框架前面左右兩側設置有立柱二，后面左右兩側設置有立柱一；立柱一和立柱二頂部和底部分別連接有頂框和底框，頂框和底框之間的立柱一和立柱二上間隔連接有若干個橫檔；所述立柱二相鄰兩邊均連接有橫檔，立柱一僅一邊連接有橫檔；橫檔與橫檔連接處設置有90°角件；橫檔與立柱一、立柱二連接處設置有90°角件；內六角螺釘將相互垂直的橫檔與90°角件緊固在一起，內六角螺釘將相互垂直的橫檔、立柱一與90°角件緊固在一起。本實用新型組裝拆卸方便，減少了焊接缺陷，降低了勞動強度，能適應不同尺寸型號的產品，防止工件在流轉中途相互運動導致磕碰。

技術領域

本實用新型涉及領域，尤其涉及一種刻蝕機核心部件流轉箱。

背景技術

在量產工業(fab)中，Vector機臺最大的消耗品就是其氣體分流器，因為半導體制程的高標準，必須要求所沉積薄膜具有良好的薄膜均一性，而薄膜均一性在很大程度上取決于噴淋頭(showerhead)的狀況，隨著機臺跑貨片數的增加，showerhead狀態也會隨之變化，導致所沉積薄膜均一性緩慢上升，最終會超出規格線。此時只能更換showerhead才能使薄膜均一性恢復正常。批量生產showerhead部件數量較大，每個部件制造時常常會用到多個加工工序，工序之間需要進行物料周轉。傳統的物料周轉是采用底部加輪子的平臺，批量進行人工推動周轉，但因工藝布局的限制，工序之間移動距離遠,存在大量的人力浪費，另外批量流轉容易導致產品磕碰，影響產品質量。

發明內容

本實用新型的目是解決上述技術問題，提供一種刻蝕機核心部件流轉箱。

為了實現上述技術目的，達到上述的技術要求，本實用新型所采用的技術方案是：刻蝕機核心部件流轉箱，包括平板腳輪、框架，其特征在于：所述框架前面左右兩側設置有立柱二，后面左右兩側設置有立柱一；所述立柱一和立柱二頂部和底部分別連接有頂框和底框，頂框和底框之間的立柱一和立柱二上間隔連接有若干個橫檔；所述立柱二相鄰兩邊均連接有橫檔，所述立柱一僅一邊連接有橫檔；所述橫檔與橫檔連接處設置有90°角件；所述橫檔與立柱一、立柱二連接處設置有90°角件；內六角螺釘將相互垂直的橫檔與90°角件緊固在一起，內六角螺釘將相互垂直的橫檔、立柱一與90°角件緊固在一起，內六角螺釘將相互垂直的橫檔、立柱二與90°角件緊固在一起；所述底框底面設置有平板腳輪。

優選的：所述的橫檔、立柱一和立柱二采用四面帶T型槽的鋁型材，截面為正方形。

優選的：所述的橫檔、立柱一和立柱二上T型槽內嵌設有若干個T型滑塊螺母。

優選的：所述的立柱一設置在橫檔的外側。

優選的：專用平板上設置有與工件匹配的用于固定的工藝孔及與橫檔卡槽匹配的折邊高度。

優選的：所述的平板腳輪包括固定腳輪和活動帶剎車腳輪。

與傳統結構相比,本實用新型的有益效果是：

1.采用鋁合金型材產品具有強度高、重量輕、耐腐蝕、組裝拆卸方便，能適應不同尺寸型號的產品，換型速度快，提高了換型效率，減少了焊接缺陷，降低了勞動強度。

2.專用平板上設置有與工件匹配的用于固定的工藝孔，便于將工件鎖在專用平板上，防止工件在流轉中途相互運動導致磕碰。

3.立柱一設置在橫檔的外側便于推拉專用平板。

附圖說明

圖1為本實用新型立體示意圖；

圖2為本實用新型中框架立體示意圖；

圖3為圖2中A處放大圖；

圖4為本實用新型中專用平板結構示意圖；