[實用新型]一種半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022174851.1 | 申請日: | 2020-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN213340330U | 公開(公告)日: | 2021-06-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 鮑永峰 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市曜通科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市博銳專利事務(wù)所 44275 | 代理人: | 任芹玉 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 設(shè)備 中的 機構(gòu) | ||
1.一種半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),包括支撐組件,所述支撐組件包括抓料板,其特征在于:所述抓料板上設(shè)有抓料組件、吸料組件和感應(yīng)組件,所述抓料組件包括多組抓手和驅(qū)動所述抓手的驅(qū)動件,所述吸料組件包括多個吸嘴,所述吸嘴在所述抓料板上間隔設(shè)置,所述抓手的相對兩側(cè)分別設(shè)有所述吸嘴,所述感應(yīng)組件包括安裝塊及設(shè)置在所述安裝塊上的傳感器,所述安裝塊上還設(shè)有在垂直于所述抓料板方向上可伸縮的感應(yīng)針,所述感應(yīng)針穿過所述抓料板,所述感應(yīng)針上套設(shè)有與所述傳感器抵觸的凸環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述感應(yīng)針遠離所述安裝塊的一端低于所述吸嘴遠離所述抓料板的一端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述抓料組件還包括設(shè)置在所述抓料板上的安裝座,所述安裝座上具有沿豎直方向設(shè)置的第一長圓孔,所述安裝座與所述驅(qū)動件通過緊固件連接,所述緊固件在所述第一長圓孔內(nèi)可滑動設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述抓料板上還設(shè)有第二長圓孔,所述吸嘴在所述第二長圓孔內(nèi)可滑動設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述支撐組件還包括與所述抓料板相連的安裝支架,所述安裝支架與半導(dǎo)體沖切設(shè)備相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述吸料組件包括設(shè)置在所述安裝支架上的真空發(fā)生器,所述真空發(fā)生器與所述吸嘴通過氣管連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述抓手包括可開合設(shè)置的兩個抓料手指,所述抓料手指分別位于所述抓料板的相對兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沖切設(shè)備中的抓料機構(gòu),其特征在于:所述驅(qū)動件為氣缸。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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