[實用新型]一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備

有效

• 申請號: 202022169816.0
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN213295439U
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊益
• 申請（專利權）人: 南通巨升非晶科技股份有限公司
• 主分類號: C21D9/00
• 分類號: C21D9/00;C21D1/26;H01F41/02
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 丁桂紅

本實用新型公開了一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備，包括基座、第一外殼和第二外殼，所述基座頂部安裝有第一外殼，所述第一外殼內部一側設置有強磁退火室，所述強磁退火室頂部與底部皆安裝有超強永磁體，所述第一外殼內部另一側設置有超高溫退火室，所述第二外殼內一側設置有傳送室，所述傳送室內轉動安裝有螺紋桿，所述第二外殼內傳送室一側設置有電機安裝室，所述螺紋桿上轉動安裝有傳送套件。本實用新型通過在強磁退火室頂部與底部安裝的超強永磁體，當超微晶鐵芯進入強磁退火室內，頂部與底部的超強永磁體會對超微晶鐵芯進行均勻的進行超強磁處理，使超微晶鐵芯磁滯損耗較小，大大提高了工作效率。

技術領域

本實用新型涉及超微晶鐵芯技術領域，具體為一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，在對超微晶鐵芯進行熱處理時，人們希望其磁滯損耗越小越好，這時需要一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備。

現有的超微晶鐵芯強磁退火專用設備存在的缺陷是：

1、現有的超微晶鐵芯強磁退火專用設備對超微晶鐵芯進行加工時，對超微晶鐵芯磁滯損耗并沒有理想中的小，很大原因為其退火爐內的磁體較差，分布不均勻導致的；

2、現有的超微晶鐵芯強磁退火專用設備大部分都為一個退火室，因為強磁承受不了特別高溫，所以超微晶鐵芯在加工后往往還會達不到標準，需要另進行更高的溫度進行退火加工；

3、現有的超微晶鐵芯強磁退火專用設備在超微晶鐵芯加工過后，拿出困難，對于使用人員的輔助性較差，為此我們提出一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備來解決現有的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種超微晶鐵芯強磁退火專用設備，包括基座、第一外殼和第二外殼，所述基座頂部安裝有第一外殼，所述第一外殼一側設置有第一進口，所述第一外殼一側通過合頁安裝有與第一進口配合使用的合金門，所述第一外殼內部一側設置有強磁退火室，所述強磁退火室頂部與底部皆安裝有超強永磁體，所述強磁退火室一側安裝有第一耐高溫安裝板，且第一耐高溫安裝板上固定安裝有第一加熱管，所述第一外殼內部另一側設置有超高溫退火室，所述超高溫退火室內壁上安裝有第一耐高溫層，所述超高溫退火室內安裝有第三加熱管，所述第一外殼一側對接安裝有第二外殼，所述第二外殼內一側設置有傳送室，所述傳送室一側與第一外殼一側設有互相配合的開口，所述傳送室內轉動安裝有螺紋桿，所述第二外殼內傳送室一側設置有電機安裝室，所述電機安裝室內安裝有與螺紋桿配合使用的電機，所述螺紋桿上轉動安裝有傳送套件，所述傳送套件上固定安裝有支撐桿，所述支撐桿延伸至強磁退火室內，且支撐桿端部安裝有工作臺。

優選的，所述強磁退火室一側開口頂部固定安裝有第二耐高溫安裝板，且第二耐高溫安裝板上安裝有第二加熱管。

優選的，所述合金門內壁設置有第二耐高溫層，所述合金門內安裝有第四加熱管。

優選的，所述第一外殼內部中間位置設置有內隔板，且內隔板上設置有第二進口。

優選的，所述基座底部四角安裝有支腿，且支腿底部安裝有底座。

優選的，所述第一外殼的一側安裝有控制開關。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：