[實(shí)用新型]一種壓電式麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022166281.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213342677U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石正雨;童貝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞聲科技（南京）有限公司
• 主分類號(hào): H04R17/02
• 分類號(hào): H04R17/02
• 代理公司: 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312
• 代理人: 王海濱

本實(shí)用新型提供了一種壓電式麥克風(fēng)，包括具有背腔的基底和設(shè)置在基底上的壓電振膜，還包括與所述基底連接并位于所述背腔內(nèi)用于支撐所述壓電振膜的至少一個(gè)固定梁。通過(guò)在背腔中設(shè)置用于支撐固定壓電振膜的至少一個(gè)固定梁，從而將背腔分隔成多個(gè)振動(dòng)區(qū)域，使壓電振膜可在每個(gè)振動(dòng)區(qū)域內(nèi)形成有一個(gè)或兩個(gè)振動(dòng)部，從而可通過(guò)調(diào)整固定梁的位置以及數(shù)量可以調(diào)整振動(dòng)部的長(zhǎng)度，在相同芯片面積下使麥克風(fēng)達(dá)到最大信噪比，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于在芯片尺寸較大時(shí)產(chǎn)生過(guò)長(zhǎng)膜片導(dǎo)致影響諧振頻率，進(jìn)而影響麥克風(fēng)的信噪比性能的技術(shù)問(wèn)題。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及聲電轉(zhuǎn)換裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種壓電式麥克風(fēng)。

【背景技術(shù)】

如圖1所示，現(xiàn)有壓電式麥克風(fēng)的壓電振膜設(shè)置在具有背腔3的基底1上，其由多個(gè)膜片2組成，在背腔3的相對(duì)兩端分別連接有一膜片2的固定端，膜片2另一端朝背腔3中心延伸形成懸臂梁結(jié)構(gòu)，在聲壓作用下膜片彎曲，彎曲部位的壓電薄膜受力產(chǎn)生電信號(hào)。

但是，膜片采用背腔邊緣固定的懸臂梁結(jié)構(gòu)限制了膜片的長(zhǎng)度至少為背腔大小的一半，在芯片尺寸較大時(shí)將產(chǎn)生過(guò)長(zhǎng)的膜片，從而影響諧振頻率，背腔邊緣固定的結(jié)構(gòu)將限制膜片的形狀，在同樣芯片面積下不能得到最優(yōu)化的信噪比。

因此，為了提升壓電式麥克風(fēng)的信噪比，有必要對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)以提升信噪比。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

本實(shí)用新型的目的在于提供一種壓電式麥克風(fēng)，通過(guò)改進(jìn)壓電振膜的結(jié)構(gòu)，提升麥克風(fēng)的信噪比。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種壓電式麥克風(fēng)。包括具有背腔的基底和設(shè)置在基底上的壓電振膜，還包括與所述基底連接并位于所述背腔內(nèi)用于支撐所述壓電振膜的至少一個(gè)固定梁。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述至少一個(gè)固定梁將所述背腔的上端分隔成至少兩個(gè)振動(dòng)區(qū)域，所述壓電振膜于每個(gè)所述振動(dòng)區(qū)域內(nèi)均設(shè)有一個(gè)縫隙，所述縫隙將所述壓電振膜位于該區(qū)域內(nèi)的部分分割成至少一個(gè)振動(dòng)部，所述振動(dòng)部包括與所述基底或固定梁連接的固定端、懸置于所述振動(dòng)區(qū)域上的振動(dòng)端、以及連接所述固定端和振動(dòng)端的連接部。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述固定梁為長(zhǎng)條狀結(jié)構(gòu)，并設(shè)置于所述背腔的中心線或與所述中心線平行。

在一個(gè)實(shí)施例中，每一所述縫隙包括第一段縫隙、第二段縫隙以及第三段縫隙，所述第一段縫隙和第二段縫隙相互間隔設(shè)置并與所述中心線垂直，所述第三段縫隙與所述中心線平行并分別與所述第一段縫隙和第二段縫隙連通。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第三段縫隙的兩端分別連通于所述第一段縫隙和第二段縫隙的中心。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第三段縫隙的兩端分別連通于所述第一段縫隙和第二段縫隙的端部。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述壓電振膜由至少兩層電極層和至少一層壓電層組成，最外兩層設(shè)置所述電極層，相鄰的兩層電極層之間由所述壓電層隔開(kāi)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)在背腔中設(shè)置用于支撐固定壓電振膜的至少一個(gè)固定梁，從而將背腔分隔成多個(gè)振動(dòng)區(qū)域，使壓電振膜可在每個(gè)振動(dòng)區(qū)域內(nèi)形成有一個(gè)或兩個(gè)振動(dòng)部，從而可通過(guò)調(diào)整固定梁的位置以及數(shù)量可以調(diào)整振動(dòng)部的長(zhǎng)度，在相同芯片面積下使麥克風(fēng)達(dá)到最大信噪比，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于在芯片尺寸較大時(shí)產(chǎn)生過(guò)長(zhǎng)膜片導(dǎo)致影響諧振頻率，進(jìn)而影響麥克風(fēng)的信噪比性能的技術(shù)問(wèn)題。

【附圖說(shuō)明】

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中壓電麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例壓電式麥克風(fēng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；