[實用新型]多波長激光加工裝置

有效

• 申請號: 202022159180.1
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213379822U
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 田學紅
• 申請（專利權）人: 華夏鯤鵬科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/082
• 代理公司: 深圳眾鼎匯成知識產權代理有限公司 44566
• 代理人: 張宏杰

1.一種多波長激光加工裝置，其特征在于，包括多波長激光器、激光加工系統和激光合束裝置；

所述多波長激光器用于發射不同波長的激光；

所述激光加工系統包括振鏡組件，所述振鏡組件包括掃描振鏡和設置在所述掃描振鏡上的聚焦鏡，所述掃描振鏡的掃描鏡能夠反射多種波長的激光；

所述激光合束裝置包括第一色散補償組件、第二色散補償組件、第一反射鏡、第二反射鏡和第一多色合束鏡；

所述第一色散補償組件包括第一棱鏡和第一直角鏡，所述第一棱鏡和所述第一直角鏡沿著激光的傳導方向依次設置，所述第一棱鏡用于供第一種波長的激光經過，所述第一直角鏡用于將經過所述第一棱鏡的第一種波長的激光反相地反射回所述第一棱鏡以對第一種波長的激光進行色散補償；

所述第二色散補償組件包括第二棱鏡和第二直角鏡，所述第二棱鏡和所述第二直角鏡沿著激光的傳導方向依次設置，所述第二棱鏡用于供第二種波長的激光經過，所述第二直角鏡用于將經過所述第二棱鏡的第二種波長的激光反相地反射回所述第二棱鏡以對第二種波長的激光進行色散補償；

所述第一反射鏡用于反射色散補償后的第一種波長的激光，所述第一多色合束鏡用于反射色散補償后的第二種波長的激光，被所述第一反射鏡反射且透過所述第一多色合束鏡之后的第一種波長的激光和被所述第一多色合束鏡反射后的第二種波長的激光在所述第一多色合束鏡合束，合束后的兩種波長的激光由所述第二反射鏡反射進入所述掃描振鏡，并經由所述聚焦鏡聚焦后加工工件。

2.根據權利要求1所述的多波長激光加工裝置，其特征在于，所述激光合束裝置還包括第三色散補償組件和第二多色合束鏡，所述第三色散補償組件包括沿著激光的傳導方向依次設置的第三棱鏡和第三直角鏡，所述第三棱鏡用于供第三種波長的激光經過，所述第三直角鏡用于將經過所述第三棱鏡的第三種波長的激光反相地反射回所述第三棱鏡以對第三種波長的激光進行色散補償；

所述第二多色合束鏡用于反射色散補償后的第三種波長的激光，被所述第一多色合束鏡合束后且透過所述第二多色合束鏡之后的兩種波長的激光和被所述第二多色合束鏡反射后的第三種波長的激光在所述第二多色合束鏡合束，合束后的三種波長的激光由所述第二反射鏡反射進入所述掃描振鏡，并經由所述聚焦鏡聚焦后加工工件。

3.根據權利要求2所述的多波長激光加工裝置，其特征在于，所述激光合束裝置還包括第四直角鏡、第五直角鏡和第六直角鏡；

所述第一反射鏡和所述第四直角鏡分別設置在所述多波長激光器與所述第一棱鏡之間的位置，所述第四直角鏡用于反射依次經過所述第一棱鏡、所述第一直角鏡、第一棱鏡的第一種波長的激光使其改變高度后依次經過所述第一棱鏡、所述第一直角鏡和所述第一棱鏡到達所述第一反射鏡；

所述第一多色合束鏡和所述第五直角鏡分別設置在所述多波長激光器與所述第二棱鏡之間的位置，所述第五直角鏡用于反射依次經過所述第二棱鏡、所述第二直角鏡和所述第二棱鏡的第二種波長的激光使其改變高度后依次經過所述第二棱鏡、所述第二直角鏡和所述第二棱鏡到達所述第一多色合束鏡；

所述第二多色合束鏡和所述第六直角鏡分別設置在所述多波長激光器與所述第三棱鏡之間的位置，所述第六直角鏡用于反射依次經過所述第三棱鏡、所述第三直角鏡和所述第三棱鏡的第三種波長的激光使其改變高度后依次經過所述第三棱鏡、所述第三直角鏡和所述第三棱鏡到達所述第二多色合束鏡。

4.根據權利要求2所述的多波長激光加工裝置，其特征在于，所述第一棱鏡設置為針對第一種波長的激光的布魯斯特角；所述第二棱鏡設置為針對第二種波長的激光的布魯斯特角；所述第三棱鏡設置為針對第三種波長的激光的布魯斯特角。

5.根據權利要求2所述的多波長激光加工裝置，其特征在于，所述第一種波長的激光為紅色光、所述第二種波長的激光為綠色光、所述第三種波長的激光為紫色光，所述第一反射鏡為一個單色的紅光反射鏡；所述第一多色合束鏡為一個高頭紅光高反綠光的多色合束鏡；所述第二多色合束鏡為一個高透紅光和綠光，高反紫光的多色合束鏡；所述第二反射鏡為一個能反射所有波長激光的反射鏡。