[實用新型]一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022156069.7
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213142143U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵
• 申請（專利權(quán)）人: 中山智隆新材料科技有限公司
• 主分類號: C22B7/00
• 分類號: C22B7/00;C22B58/00;F27D9/00
• 代理公司: 廣東科信啟帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44710
• 代理人: 吳少東

本實用新型公開一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)，包括冷卻水管接口和回收靶體，所述冷卻水管接口安裝在回收靶體的外壁上，在進行工作時，將冷卻水管連接于冷卻水管接口，將排水管連接于出水管接口，然后，向冷卻水管中輸入冷水，由于冷卻水管接口和出水管接口之間通過上部冷卻槽和下部盤型槽相連通，這樣確保冷卻水能夠順利從冷卻水管接口處流向到出水管接口處，形成循環(huán)，對回收靶體的內(nèi)壁進行冷卻，使得升華后的金屬銦能夠冷凝附著在回收靶體中進行收集，在工作結(jié)束后，取出回收靶體，由于回收靶體內(nèi)部均勻涂有脫模劑層，方便對金屬銦進行脫出，本實用新型能夠快速且均勻的對回收靶體內(nèi)壁進行冷卻，具有很好的實用性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于回收靶相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

ITO靶材是一種銦錫復(fù)合氧化物陶瓷材料，廣泛應(yīng)用于平板顯示器件的透明電極、太陽能電池、飛機及高檔汽車的防霧防霜玻璃等領(lǐng)域，是一種非常重要的光電材料。ITO靶材的原料是氧化錫和氧化銦，氧化銦由銦金屬制備得到。銦金屬是一種貴重金屬，價格昂貴，自然界的含量十分稀缺，全球預(yù)估真正可以得到的銦僅1.5萬噸。而ITO靶材在濺射時使用率較低，一般僅為30％-40％，因此回收提純ITO廢靶材中的金屬銦十分必要。而銦金屬可以在真空條件下加熱升華，而錫金屬不可以，銦金屬的熔點為156.61℃，錫金屬的熔點為231.89℃。因此當(dāng)加熱溫度設(shè)置在銦金屬的熔點之下時，銦金屬從銦錫合金中升華，而錫金屬仍舊保持固態(tài)。因此，在真空爐的頂部設(shè)置銦金屬板，通過冷卻水系統(tǒng)使其保持較低溫度，使升華后的銦蒸氣凝華沉積在銦金屬板上進行收集。

現(xiàn)有的回收靶技術(shù)存在以下問題：現(xiàn)有的回收靶在實際的ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦工作的應(yīng)用中，還存在著一定的不足之處，現(xiàn)有的回收靶冷卻是通過在其內(nèi)部穿插水管的方式進行冷卻，冷卻管排布不均勻，并且不能直接帶走熱量，不能進行快速降溫，對升華的銦金屬不能很好的進行收集，實用性能較差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的回收靶冷卻工作中的水管分布不均冷卻效果差的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)，包括冷卻水管接口和回收靶體，所述冷卻水管接口安裝在回收靶體的外壁上，所述回收靶體的內(nèi)部設(shè)置有脫模劑層，所述脫模劑層的內(nèi)部設(shè)置有回收槽，所述回收靶體的下端外壁上設(shè)置有出水管接口，所述回收靶體靠上側(cè)內(nèi)部設(shè)置有上部冷卻槽，所述回收靶體靠下側(cè)內(nèi)部設(shè)置有下部盤型槽。

優(yōu)選的，所述上部冷卻槽和下部盤型槽之間通過盤型槽入口相連接。

優(yōu)選的，所述下部盤型槽和出水管接口之間通過盤型槽出口相連接。

優(yōu)選的，所述回收靶體為金屬圓盤，所述回收靶體的內(nèi)部設(shè)置有放置槽，所述脫模劑層和回收靶體通過放置槽連接。

優(yōu)選的，所述冷卻水管接口和出水管接口之間通過上部冷卻槽和下部盤型槽相連通。

優(yōu)選的，所述下部盤型槽整體為盤式結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有回收靶技術(shù)相比，本實用新型提供了一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)，具備以下有益效果：