[實用新型]光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置

有效

• 申請號: 202022152805.1
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN212514309U
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 邵劍波;席曦;劉桂林
• 申請（專利權）人: 江南大學
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892;G01N21/01;H02S50/15
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置，其特征是：包括檢測殼體（1）以及設置于所述檢測殼體（1）內下部的傳送帶（13），在檢測殼體（1）內還設置光源腔（25）、參考處理腔（26）、判斷處理腔（27）以及檢測處理腔（28），所述光源腔（25）、參考處理腔（26）、判斷處理腔（27）以及檢測處理腔（28）均位于傳送帶（13）的上方；

在光源腔（25）內設置能發射近紅外光的檢測光源（22），在參考處理腔（26）內設置參考光處理機構，在判斷處理腔（27）內設置光電探測器（21）、圖像處理器（20）以及主處理器（19），在檢測處理腔（28）內設置光纖耦合器（18）以及采樣光路處理機構；

通過傳送帶（13）能將硅太陽電池（11）輸送至檢測位置；所述檢測光源（22）所發出的光線經光纖耦合器（18）后能分別形成參考光路與采樣光路，其中，采樣光路的光線能入射到檢測位置的硅太陽電池（11）上；

硅太陽電池（11）反射的光線經采樣光路能進入光纖耦合器（18）內，且在光纖耦合器（18）內能與參考光路返回的光線產生光學干涉，通過與所述光纖耦合器（18）連接的光電探測器（21）能采集所述光纖耦合器（18）輸出的能反映后向散射強度的光學干涉信號；

光電探測器（21）將所采集的光學干涉信號處理后得到檢測掃描信號，并將所述檢測掃描信號傳輸至圖像處理器（20）內，圖像處理器（20）根據檢測掃描信號能建立檢測位置上硅太陽電池（11）的三維結構信息；

圖像處理器（20）將所建立的三維結構信息傳輸至主處理器（19）內，主處理器（19）根據硅太陽電池（11）的三維結構信息判斷所述硅太陽電池（11）的質量狀態。

2.根據權利要求1所述光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置，其特征是：所述檢測光源（22）采用低相干性超輻射發光二極管，檢測光源（22）所發射光線的波長為1000nm~1300nm；

還包括與檢測光源（22）適配連接的光線匯聚體（23），所述光線匯聚體（23）通過發射光線光纖（24）與光纖耦合器（18）適配連接。

3.根據權利要求1所述光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置，其特征是：所述參考光處理機構包括高反射平面鏡（2）以及位于所述高反射平面鏡（2）前方的參考光均勻準直鏡體（3），光纖耦合器（18）上連接有允許參考光傳輸的參考光傳輸光纖（17），參考光傳輸光纖（17）的一端與光纖耦合器（18）連接，參考光傳輸光纖（17）另一端設置的光纖第一接頭（30）位于參考光均勻準直鏡體（3）。

4.根據權利要求1所述光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置，其特征是：所述采樣光路處理機構包括檢測內殼體以及設置于所述檢測內殼體上的采樣光準直殼體（29）、位于所述檢測內殼體內的掃描反射鏡（8）、用于控制所述掃描反射鏡（8）位置狀態的反射鏡控制機構以及與所述檢測內殼體適配連接的檢測前置光學體（10），檢測位置位于所述檢測前置光學體（10）的正下方；反射鏡控制機構對掃描反射鏡（8）的位置狀態控制包括掃描反射鏡（8）的位置水平運動以及掃描反射鏡（8）的旋轉；

采樣光準直殼體（29）與采樣光傳輸光纖（16）的一端適配連接，采樣光傳輸光纖（16）的另一端與光纖耦合器（18）連接，在采樣光準直殼體（29）內設置至少一個采樣光準直儀（15），經采樣光準直儀（15）準直后的采樣光通過掃描反射鏡（8）反射并經過檢測前置光學體（10）準直匯聚后入射到檢測位置的硅太陽電池（11）上；

經硅太陽電池（11）反射后的光線經掃描反射鏡（8）、采樣光準直殼體（29）、采樣光傳輸光纖（16）能返回光纖耦合器（18）內。

5.根據權利要求1所述光學相干縱向分層掃描硅太陽電池的質量檢測裝置，其特征是：在所述檢測殼體（1）的底端設置萬向輪（12），在檢測處理腔（28）的外壁上設置用于檢測硅太陽電池（11）的電池定位檢測機構，傳送帶（13）將硅太陽電池（11）輸送至檢測位置時，通過電池檢測機構能向主處理器（19）發送電池就位信號。