[實用新型]一種閥門加熱器

有效

• 申請號: 202022143897.7
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN212785887U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 李湘林;李力;鐘權平
• 申請（專利權）人: 東莞納鋒微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02;F16K49/00
• 代理公司: 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215
• 代理人: 張明

本實用新型涉及管道設計技術領域，尤其是指一種閥門加熱器，包括加熱管身、反應裝置以及閥門，所述閥門與所述反應裝置連接，所述加熱管身開設有用于裝配閥門的通孔，所述通孔的內壁與所述閥門的外周貼合，所述加熱管身內設置有用于裝配所述反應裝置的通道，所述加熱管身用于為所述反應裝置加熱。本實用新型提供的一種閥門加熱器，在閥門處的溫度不易降低，從而避免為反應裝置加熱不均勻的情況，并且加熱管身也不易受損。

技術領域

本實用新型涉及管道設計技術領域，尤其是指一種閥門加熱器。

背景技術

在原子層沉積技術中，常用的前驅體的加熱管路是在反應裝置的外部直接包裹加熱層，該加熱層是直接將加熱絲設置在鋁箔泡沫紙類里面設置而成，再在加熱層上開孔安裝閥門，在開孔處，由于加熱層與閥門的接觸不夠緊密，所以在開孔處的溫度容易降低，導致整個加熱管路加熱不均勻的問題，并且，加熱絲容易損壞，而該加熱層不便于維修，通常只能選擇整個更換。

發明內容

本實用新型針對現有技術的問題提供一種閥門加熱器，采用加熱管身來為反應裝置加熱，并且通孔的內壁與閥門能夠貼合，防止加熱不均勻的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：一種閥門加熱器，包括加熱管身、反應裝置以及閥門，所述閥門與所述反應裝置連接，所述加熱管身開設有用于裝配閥門的通孔，所述通孔的內壁與所述閥門的外周貼合，所述加熱管身內設置有用于裝配所述反應裝置的通道，所述加熱管身用于為所述反應裝置加熱。

優選的，所述閥門加熱器還包括半圓筒型硅膠鋁板，所述半圓筒型硅膠鋁板套設于所述加熱管身的外周，并且所述半圓筒型硅膠鋁板與加熱管身之間設有空氣熱阻隔層。

優選的，所述半圓筒型硅膠鋁板的外壁貼合有硅膠隔熱墊。

優選的，所述加熱管身包括第一管身以及與第一管身可拆卸連接的第二管身，所述第一管身與所述第二管身連接后形成所述通道；所述第一管身的管壁設置有第一半孔，所述第二管身的管壁設置有第二半孔，所述第一半孔與所述第二半孔配合形成所述通孔。

優選的，所述第一管身開設有若干第一加熱通道，所述第二管身開設有若干第二加熱通道，所述第一加熱通道和第二加熱通道內均裝設有加熱件。

優選的，所述通道的內壁與所述反應裝置的外壁貼合。

優選的，所述通道內壁設置有限位圈，所述限位圈與所述反應裝置抵觸。

優選的，所述加熱管身采用鋁材制成。

優選的，所述閥門加熱器連接有反應器，所述反應器包括第三管身，所述第三管身內裝設有反應原裝置，所述反應原裝置與所述反應裝置連接，所述第三管身用于為所述反應器加熱。

優選的，所述第三管身為鋁材制成。

本實用新型的有益效果：

本實用新型提供的一種閥門加熱器，將反應裝置安裝在加熱管身的通道內，閥門安裝在通孔處，并且閥門與通孔的內壁貼合，所以在加熱管身為反應裝置加熱，在閥門處的溫度也不易降低，從而避免為反應裝置加熱不均勻的情況，并且加熱管身也不易受損。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型隱藏第一管身后的結構示意圖。

圖3為本實用新型的隱藏反應裝置后的結構示意圖。

圖4為圖3的俯視圖。

圖5為本實用新型的加熱管身的分解結構示意圖。

圖6為本實用新型與反應器配合的結構示意圖。

在圖1至圖6中的附圖標記包括：