[實用新型]一種晶圓去靜電和清洗裝置有效
| 申請號： | 202022138485.4 | 申請日： | 2020-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN212696256U | 公開（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發明（設計）人： | 錢誠;李剛;霍召軍 | 申請（專利權）人： | 江蘇亞電科技有限公司 |
| 主分類號： | H05F3/06 | 分類號： | H05F3/06;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 225300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶圓去 靜電 清洗 裝置 | ||
1.一種晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，包括：
外殼(1)；
清洗槽(2)，設置在外殼(1)內；
蓋體(3)，設置在所述清洗槽(2)上方，能夠在驅動件驅動下發生旋轉而蓋附在清洗槽(2)的頂端；
晶圓盒支撐架(4)，用于放置晶圓盒(9)；
擺動升降組件(5)，用于驅動晶圓盒支撐架(4)升降和擺動；
靜電消除器(6)，設置在清洗槽(2)上方的兩側，用于發射正負離子風以去除晶圓上的靜電。
2.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，
所述晶圓盒支撐架(4)的擺動角度為20°-25°。
3.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，所述蓋體(3)上設置有噴水口，當所述蓋體(3)蓋在清洗槽(2)上時，通過噴水口噴出水或者清洗液。
4.根據權利要求3所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，所述蓋體(3)上設置有噴氣口，當晶圓清洗完畢，且清洗槽(2)內水或者清洗液排空后，由噴氣口噴出氣體以對晶圓進行干燥。
5.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽(2)底部設置有抽風口，靜電消除器(6)工作時，抽風口開始抽風。
6.根據權利要求5所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽(2)側面還設置有抽風口，且抽風口設置高度低于晶圓位于清洗槽內時的最低點。
7.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽(2)底部為中間底兩側高的斜面，斜面的傾斜角度為20-40°，抽風口沿著斜面設置。
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