[實(shí)用新型]蝕刻機(jī)臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022136615.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN212725232U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘭升友;柘濤;易熊軍;楊富可;黃韜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/306
• 分類號(hào): H01L21/306;H01L21/67
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 劉娜

1.一種蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，包括：

機(jī)體，所述機(jī)體具有沿晶圓的移動(dòng)方向依次設(shè)置的第一蝕刻槽(10)、第二蝕刻槽(20)和水槽(30)；

快門(40)，所述快門(40)為多個(gè)，所述第一蝕刻槽(10)和所述第二蝕刻槽(20)之間的槽壁上、所述第二蝕刻槽(20)和所述水槽(30)之間的所述槽壁上分別開設(shè)有槽壁開口(60)，各所述槽壁開口(60)處分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)能夠平移滑動(dòng)的所述快門(40)，以遮擋或避讓所述槽壁開口(60)，以使所述晶圓能夠穿過所述槽壁開口(60)在所述第一蝕刻槽(10)、所述第二蝕刻槽(20)和所述水槽(30)之間移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述蝕刻機(jī)臺(tái)裝置還包括氣動(dòng)組件(50)，所述氣動(dòng)組件(50)與所述快門(40)驅(qū)動(dòng)連接，以使所述快門(40)避讓或者遮擋所述槽壁開口(60)。

3.如權(quán)利要求2所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述槽壁具有與所述槽壁開口(60)連通的容置槽(70)，所述快門(40)可滑動(dòng)地設(shè)置在所述容置槽(70)內(nèi)，所述快門(40)結(jié)構(gòu)具有避讓位置和遮擋位置，

當(dāng)所述快門(40)位于所述遮擋位置時(shí)，所述快門(40)的至少一部分通過所述容置槽(70)伸入所述槽壁開口(60)內(nèi)以遮擋所述槽壁開口(60)；

當(dāng)所述快門(40)位于所述避讓位置時(shí)，所述快門(40)退出所述槽壁開口(60)并全部位于所述容置槽(70)內(nèi)；

所述氣動(dòng)組件(50)設(shè)置在所述容置槽(70)內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述槽壁具有中空夾腔，所述中空夾腔作為所述容置槽(70)。

5.如權(quán)利要求3所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述快門(40)為擋板，所述擋板呈凸字形并包括順次連接的第一板段(41)和第二板段(42)，所述第一板段(41)為所述凸字形的上半部分，所述第二板段(42)為所述凸字形的下半部分，所述第一板段(41)能夠伸入所述槽壁開口(60)中，所述第二板段(42)與所述氣動(dòng)組件(50)驅(qū)動(dòng)連接且與所述容置槽(70)滑動(dòng)連接。

6.如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述第一板段(41)遠(yuǎn)離所述第二板段(42)的側(cè)邊為楔形。

7.如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述蝕刻機(jī)臺(tái)裝置還包括彈簧(80)，所述彈簧(80)為多個(gè)，所述槽壁開口(60)的兩側(cè)分別設(shè)置有彈簧放置孔(90)，所述彈簧放置孔(90)與所述容置槽(70)連通，各所述彈簧放置孔(90)處對(duì)應(yīng)設(shè)置有至少一個(gè)所述彈簧(80)，所述彈簧(80)的一端與所述彈簧放置孔(90)的末端固定連接，所述彈簧(80)的另一端與所述第二板段(42)連接。

8.如權(quán)利要求7所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述快門(40)處于所述避讓位置和所述遮擋位置時(shí)，所述彈簧(80)始終處于拉伸狀態(tài)。

9.如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述氣動(dòng)組件(50)包括氣缸(51)，所述氣缸(51)具有伸縮端(511)，所述第二板段(42)具有容置所述伸縮端(511)的頭部的腔體(421)，以使所述伸縮端(511)與所述第二板段(42)連接。

10.如權(quán)利要求9所述的蝕刻機(jī)臺(tái)裝置，其特征在于，所述伸縮端(511)的頭部具有順次連接的第一鎖附件(512)、連接彈簧(513)和第二鎖附件(514)，所述腔體(421)內(nèi)的兩側(cè)具有與所述第一鎖附件(512)和所述第二鎖附件(514)相適配的兩個(gè)容置孔，所述第一鎖附件(512)和所述第二鎖附件(514)分別容置在兩個(gè)所述容置孔內(nèi)，以使所述伸縮端(511)的頭部與所述腔體(421)固定。