[實用新型]一種用于CVD涂層設備用的圓筒型加熱罩有效

申請號：	202022130139.1	申請日：	2020-09-24
公開（公告）號：	CN213232485U	公開（公告）日：	2021-05-18
發明（設計）人：	王彤	申請（專利權）人：	常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司
主分類號：	C23C16/44	分類號：	C23C16/44;C23C16/52
代理公司：	上海思牛達專利代理事務所(特殊普通合伙) 31355	代理人：	雍常明
地址：	213100 江蘇省常州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于 cvd 涂層備用圓筒加熱
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【權利要求書】：

1.一種用于CVD涂層設備用的圓筒型加熱罩，包括筒體(3)，其特征在于：所述筒體(3)的頂部固定安裝有頂蓋(1)，所述頂蓋(1)的頂部固定安裝有吊環(2)，所述筒體(3)的底部固定安裝有支腳(11)、下落緩沖彈簧座(12)與底板(13)，所述筒體(3)的外側分別固定安裝有上吊裝孔板(4)、下吊裝孔板(5)、定位導向孔板(6)、側邊隔熱擋板(7)、集成電源接線盒(8)、雙組測溫熱電偶(9)與位置感應開關盒(10)，所述筒體(3)的外側活動安裝有測溫熱電偶保護罩(15)，所述筒體(3)的內部活動安裝有加熱絲組件(14)。

2.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備用的圓筒型加熱罩，其特征在于：所述雙組測溫熱電偶(9)位于測溫熱電偶保護罩(15)的內部。

3.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備用的圓筒型加熱罩，其特征在于：所述加熱絲組件(14)與雙組測溫熱電偶(9)活動連接。

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