[實(shí)用新型]一種寬光斑激光能量回收裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022127970.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213739681U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建勛;蘇成明;白鵬飛;張飄飄
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陜西天元智能再制造股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C24/10
• 分類(lèi)號(hào): C23C24/10
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，包括：積分鏡（5）和反光罩（6），所述反光罩（6）設(shè)置于所述積分鏡（5）的反射光路上，所述積分鏡（5）向所述反光罩（6）反射輸出寬光斑激光束（1），所述反光罩（6）上形成有通光孔，所述通光孔的外形與所述寬光斑激光束（1）相匹配，所述寬光斑激光束（1）全部穿過(guò)所述通光孔，所述反光罩（6）的下表面形成反光區(qū)和清潔區(qū)，所述反光區(qū)上形成有反光面（10），所述反光面（10）能夠按原光路反射來(lái)自寬光斑激光束（1）焦點(diǎn)的光束，所述反光罩內(nèi)形成有氣腔（7），所述清潔區(qū)上形成有吹掃氣路（9），所述吹掃氣路（9）將所述氣腔（7）和所述反光面（10）連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述寬光斑激光束（1）具有矩形光斑焦點(diǎn)，所述通光孔為沿反光罩厚度從上至下從大到小漸變的橢圓錐孔，所述橢圓錐孔的形狀相似于所述寬光斑激光束（1）的外形，在同一截面同一方向上所述橢圓錐孔的尺寸大于所述寬光斑激光束（1）的尺寸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述反光面（10）為以所述寬光斑激光束（1）的矩形光斑焦點(diǎn)長(zhǎng)度方向的中心線(xiàn)為軸心的圓柱面，來(lái)自寬光斑激光束（1）矩形光斑焦點(diǎn)的光束入射到所述反光面（10）后，被所述反光面（10）按原光路反射至寬光斑激光束（1）的矩形光斑焦點(diǎn)處。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述通光孔穿過(guò)反光面（10）的中央，且所述通光孔的橢圓錐孔的長(zhǎng)軸方向平行于所述寬光斑激光束（1）的矩形光斑焦點(diǎn)長(zhǎng)度方向的中心線(xiàn)，位于所述通光孔兩側(cè)的反光面（10）關(guān)于通光孔的橢圓錐孔的長(zhǎng)軸對(duì)稱(chēng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，還包括有蓋板（8），所述蓋板（8）安裝于所述反光罩下表面的清潔區(qū)上，所述氣腔（7）的底面延伸至反光罩下表面的清潔區(qū)，并在清潔區(qū)形成氣腔開(kāi)口，所述蓋板（8）將氣腔開(kāi)口封閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述清潔區(qū)上形成有連通所述反光面和氣腔的氣路槽，所述蓋板（8）覆蓋所述氣路槽，由所述蓋板和氣路槽共同形成所述吹掃氣路（9）。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述吹掃氣路（9）在厚度方向形成為狹窄氣路縫隙，所述吹掃氣路在寬度方向的尺寸大于所述通光孔在反光面處的寬度，進(jìn)入氣腔內(nèi)的吹掃氣體從所述吹掃氣路（9）吹出至所述反光面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述反光罩上形成有連通所述氣腔（7）的進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口上安裝有進(jìn)氣接口（4），所述進(jìn)氣接口外接氣源，來(lái)自氣源的吹掃氣體由進(jìn)氣接口（4）進(jìn)入氣腔（7）使氣腔內(nèi)的氣體升壓，升壓后的氣體從吹掃氣路（9）迅速吹出，形成一道寬薄氣帶并吹出至反光面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4或6-8任一項(xiàng)所述的寬光斑激光能量回收裝置，其特征在于，所述反光罩（6）的內(nèi)部圍繞通光孔形成循環(huán)水冷卻通道，所述反光罩上形成連通循環(huán)水冷卻通道的進(jìn)水口和出水口，所述進(jìn)水口上安裝有進(jìn)水接口（2），所述出水口上安裝有出水接口（3），所述進(jìn)水接口（2）和出水接口（3）分別外接冷水機(jī)的進(jìn)出水口。