[實(shí)用新型]一種微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022125586.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-24
• 公開（公告）號(hào): CN213224645U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佟浩;蔡磊明;楊子豪;李勇;李寶泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院;無錫微研精微機(jī)械技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B23H9/00
• 分類號(hào): B23H9/00;B23H9/02
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.一種微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，包括機(jī)架(3)，其特征在于，還包括沿x軸向和/或y軸向運(yùn)動(dòng)的WEDG模塊(1)、沿z軸向運(yùn)動(dòng)的主軸模塊(2)，WEDG模塊(1)、主軸模塊(2)均設(shè)于機(jī)架(3)上；

所述WEDG模塊(1)包括修絲導(dǎo)向塊(101)、修絲電極(102)，修絲導(dǎo)向塊(101)固定于WEDG模塊(1)上，修絲電極(102)被WEDG模塊(1)上的各處導(dǎo)輪張緊并繞經(jīng)修絲導(dǎo)向塊(101)的尖端；所述主軸模塊(2)上固定有待修微細(xì)工具電極(201)。

2.如權(quán)利要求1所述的微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，其特征在于，所述WEDG模塊(1)上設(shè)有動(dòng)力輪和若干導(dǎo)輪，修絲電極(102)繞經(jīng)動(dòng)力輪和導(dǎo)輪并水平繞過修絲導(dǎo)向塊(101)的尖端。

3.如權(quán)利要求1所述的微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，其特征在于，待修微細(xì)工具電極(201)一端沒入主軸模塊(2)內(nèi)部，另一端指向修絲導(dǎo)向塊(101)尖端。

4.如權(quán)利要求1所述的微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，其特征在于，主軸模塊(2)對(duì)刀時(shí)，修絲電極(102)與待修微細(xì)工具電極(201)相接觸。

5.如權(quán)利要求1所述的微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，其特征在于，主軸模塊(2)對(duì)刀結(jié)束時(shí)，修絲電極(102)與待修微細(xì)工具電極(201)間距設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1所述的微細(xì)工具電極在線制備系統(tǒng)，其特征在于，粗修時(shí)，主軸模塊(2)所轉(zhuǎn)動(dòng)的水平等分角度為360°圓周的1/n，且n為正整數(shù)。