[實(shí)用新型]等離子清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022116000.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213856098U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉賢斌;李文強(qiáng);楊建新;張凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳泰德半導(dǎo)體裝備有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00
• 代理公司: 深圳市恒程創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44542
• 代理人: 孔德丞

本實(shí)用新型提出一種等離子清洗機(jī)。等離子清洗機(jī)包括清洗機(jī)本體、活動(dòng)臺(tái)、夾持治具及腔體組件。其中，清洗機(jī)本體包括工作臺(tái)；活動(dòng)臺(tái)可活動(dòng)地安裝于工作臺(tái)上，活動(dòng)臺(tái)包括第一活動(dòng)臺(tái)和第二活動(dòng)臺(tái)，第一活動(dòng)臺(tái)與第二活動(dòng)臺(tái)在工作臺(tái)上的位置可以切換；夾持治具包括第一夾持治具和第二夾持治具，第一夾持治具安裝于第一活動(dòng)臺(tái)上，第二夾持治具安裝于第二活動(dòng)臺(tái)上；腔體組件可選擇性地蓋合于第一活動(dòng)臺(tái)和第二活動(dòng)臺(tái)的其中之一而形成密封腔，以使得第一夾持治具和第二夾持治具可交替地處于密封腔內(nèi)。本實(shí)用新型的等離子清洗機(jī)，能夠解決現(xiàn)有等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜的技術(shù)問(wèn)題，降低等離子清洗機(jī)的制造成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種等離子清洗機(jī)。

背景技術(shù)

等離子清洗機(jī)是利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。現(xiàn)有的等離子清洗機(jī)，在對(duì)夾持治具上的基板進(jìn)行清洗時(shí)，通常是將夾持治具固定安裝于腔體組件上，這樣造成等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，零件較多造成等離子清洗機(jī)的制造成本高。

因此，有必要提出一種等離子清洗機(jī)，以解決上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的是提出一種等離子清洗機(jī)，旨在解決現(xiàn)有等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜的技術(shù)問(wèn)題，降低等離子清洗機(jī)的制造成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種等離子清洗機(jī)，所述等離子清洗機(jī)包括清洗機(jī)本體、活動(dòng)臺(tái)、夾持治具及腔體組件。其中，所述清洗機(jī)本體包括工作臺(tái)；所述活動(dòng)臺(tái)可活動(dòng)地安裝于所述工作臺(tái)上，所述活動(dòng)臺(tái)包括第一活動(dòng)臺(tái)和第二活動(dòng)臺(tái)，所述第一活動(dòng)臺(tái)與所述第二活動(dòng)臺(tái)在所述工作臺(tái)上的位置可以切換；所述夾持治具包括第一夾持治具和第二夾持治具，所述第一夾持治具安裝于所述第一活動(dòng)臺(tái)上，所述第二夾持治具安裝于所述第二活動(dòng)臺(tái)上；所述腔體組件可選擇性地蓋合于所述第一活動(dòng)臺(tái)和所述第二活動(dòng)臺(tái)的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夾持治具和所述第二夾持治具可交替地處于所述密封腔內(nèi)。

可選地，所述腔體組件包括上蓋腔體、下蓋腔體及驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述上蓋腔體和所述下蓋腔體進(jìn)行上升或者下降調(diào)節(jié)；所述工作臺(tái)上設(shè)有工作區(qū)，所述上蓋腔體設(shè)于所述工作區(qū)的上方，所述下蓋腔體設(shè)于所述工作區(qū)的下方，所述第一活動(dòng)臺(tái)和所述第二活動(dòng)臺(tái)可交替地進(jìn)入所述工作區(qū)，所述上蓋腔體和所述下蓋腔體與所述第一活動(dòng)臺(tái)和所述第二活動(dòng)臺(tái)的其中之一的上下兩側(cè)蓋合而形成所述密封腔。

可選地，所述活動(dòng)臺(tái)可滑動(dòng)地安裝于所述工作臺(tái)上，以使得所述第一活動(dòng)臺(tái)與所述第二活動(dòng)臺(tái)通過(guò)滑動(dòng)來(lái)切換位置；或者，所述活動(dòng)臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述工作臺(tái)上，以使得所述第一活動(dòng)臺(tái)與所述第二活動(dòng)臺(tái)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)切換位置。

可選地，所述第一活動(dòng)臺(tái)包括第一活動(dòng)本體和兩個(gè)第一滑軌組件，兩個(gè)所述第一滑軌組件相對(duì)設(shè)置的安裝于所述工作臺(tái)上，所述第一活動(dòng)本體安裝于兩個(gè)所述第一滑軌組件上，所述第一活動(dòng)本體的兩端分別與兩個(gè)所述第一滑軌組件滑動(dòng)連接。

可選地，所述第二活動(dòng)臺(tái)包括第二活動(dòng)本體和兩個(gè)第二滑軌組件，兩個(gè)所述第二滑軌組件相對(duì)設(shè)置的安裝于所述工作臺(tái)上并位于兩個(gè)所述第一滑軌組件之間，所述第二活動(dòng)本體安裝于兩個(gè)所述第二滑軌組件上，所述第二活動(dòng)本體的兩端分別與兩個(gè)所述第二滑軌組件滑動(dòng)連接。

可選地，所述活動(dòng)臺(tái)還包括傳送機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)包括傳送電機(jī)、傳送帶組件和傳送固定件，所述傳送固定件的數(shù)量為兩個(gè)，其中一個(gè)所述傳送固定件安裝于所述傳送帶組件上并與所述第一活動(dòng)本體固定連接，另外一個(gè)所述傳送固定件安裝于所述傳送帶組件上并與所述第二活動(dòng)本體固定連接，所述傳送電機(jī)能驅(qū)動(dòng)所述傳送帶組件做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以使得所述第一活動(dòng)本體與所述第二活動(dòng)本體在所述工作臺(tái)上的位置可以切換。

可選地，所述上蓋腔體包括上蓋本體和第一電極，所述上蓋本體具有空腔，所述第一電極設(shè)于所述空腔內(nèi)；所述下蓋腔體包括下蓋本體、玻璃板和第二電極，所述玻璃板安裝于所述下蓋本體上，所述玻璃板上設(shè)有絕緣座，所述第二電極安裝于所述絕緣座上。