[實(shí)用新型]一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022101890.9
• 申請(qǐng)日: 2020-09-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213172588U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳冬梅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吳冬梅
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08;C23F1/24
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)，包括槽體，所述槽體內(nèi)側(cè)設(shè)有多個(gè)滑槽，所述滑槽底部設(shè)有伸縮桿，所述伸縮桿上套接有彈簧，所述伸縮桿及彈簧底部固接滑槽底部，頂部固接有滾軸，所述滑槽頂部設(shè)有螺絲，所述螺絲穿過(guò)槽體進(jìn)入滑槽內(nèi)，且底部接觸滾軸，所述滾軸兩端固定有兩個(gè)固定桿，所述滾軸位于固定桿內(nèi)側(cè)滾動(dòng)連接有主輥輪，所述固定桿另一端滾動(dòng)連接有副輥輪。本實(shí)用新型工作過(guò)程中當(dāng)硅片向前移動(dòng)時(shí)，硅片尾部會(huì)離開(kāi)主輥輪2，從而接觸到副輥輪，在副輥輪的幫助下，避免了尾部接觸到蝕刻液內(nèi)，避免了尾部過(guò)刻的現(xiàn)象；使用過(guò)程中可以根據(jù)液面高度通過(guò)螺絲對(duì)主輥輪、副輥輪位置進(jìn)行調(diào)整，方便調(diào)整輥輪到合適的位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及刻蝕槽領(lǐng)域，具體為一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

刻蝕是指利用蝕刻液對(duì)擴(kuò)散后硅片下表面和邊緣進(jìn)行腐蝕，去除邊緣的N型硅，使得硅片上下表面相互絕緣，經(jīng)過(guò)刻蝕工序，硅片邊緣帶有的磷會(huì)被去除干凈，避免PN結(jié)短路造成并聯(lián)電阻降低。在目前的刻蝕過(guò)程中有以下缺陷：

1、一般采用硅片在水膜覆蓋和下表面與蝕刻液的持續(xù)接觸，都使得硅片在刻蝕槽中容易受力而彎曲，特別是在硅片尾部，一旦彎曲程度過(guò)大，尾部就會(huì)由于水膜脫落從而接觸蝕刻液，導(dǎo)致過(guò)刻，造成浪費(fèi)；

2、使用過(guò)程中需要保持液面沒(méi)過(guò)輥輪，而控制液面的操作較為困難。

為此我們提出一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)用于解決上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種基于酸性氯化銅制備硫酸銅的刻蝕槽結(jié)構(gòu)，包括槽體，所述槽體內(nèi)側(cè)設(shè)有多個(gè)滑槽，所述滑槽底部設(shè)有伸縮桿，所述伸縮桿上套接有彈簧，所述伸縮桿及彈簧底部固接滑槽底部，頂部固接有滾軸，所述滑槽頂部設(shè)有螺絲，所述螺絲穿過(guò)槽體進(jìn)入滑槽內(nèi)，且底部接觸滾軸，所述滾軸兩端固定有兩個(gè)固定桿，所述滾軸位于固定桿內(nèi)側(cè)滾動(dòng)連接有主輥輪，所述固定桿另一端滾動(dòng)連接有副輥輪；所述槽體內(nèi)側(cè)固接有擋板。

優(yōu)選的，為了實(shí)現(xiàn)硅片的平穩(wěn)運(yùn)行，所述主輥輪和副輥輪上表面高度一致。

優(yōu)選的，為了保證液面平穩(wěn)性，所述擋板底部有半圓形開(kāi)孔，且所述擋板高度低于主輥輪的軸心線。

優(yōu)選的，為了方便使用，所述擋板設(shè)有多個(gè)，每隔兩個(gè)主輥輪設(shè)置一個(gè)擋板。

優(yōu)選的，為了穩(wěn)固滾軸，所述滾軸位于滑槽內(nèi)頂部與螺絲接觸處設(shè)有圓形凹槽。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、本實(shí)用新型工作過(guò)程中當(dāng)硅片向前移動(dòng)時(shí)，硅片尾部會(huì)離開(kāi)主輥輪2，從而接觸到副輥輪，在副輥輪的幫助下，避免了尾部接觸到蝕刻液內(nèi)，避免了尾部過(guò)刻的現(xiàn)象；

2、使用過(guò)程中可以根據(jù)液面高度通過(guò)螺絲對(duì)主輥輪、副輥輪位置進(jìn)行調(diào)整，方便調(diào)整輥輪到合適的位置。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型輥輪處結(jié)構(gòu)放大示意圖；

圖3為本實(shí)用新型輥輪處剖面俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型滑槽處剖面結(jié)構(gòu)放大示意圖；

圖5為本實(shí)用新型使用時(shí)硅片尾部離開(kāi)輥輪時(shí)示意圖。

圖中：1槽體、2主輥輪、3副輥輪、4擋板、5滾軸、6固定桿、7硅片、8滑槽、9伸縮桿、10彈簧、11螺絲。

具體實(shí)施方式