[實用新型]一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022096233.X
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN213701023U
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 任曉偉
• 申請（專利權(quán)）人: 復(fù)漢海志（江蘇）科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67;H05F3/04
• 代理公司: 鹽城平易安通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32448
• 代理人: 陳彩芳

1.一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，包括裝置主體(1)和金屬網(wǎng)板(15)，其特征在于：所述裝置主體(1)的側(cè)端外表面設(shè)置有空氣泵(2)，所述空氣泵(2)的側(cè)端設(shè)置有水泵(3)，所述水泵(3)的側(cè)端外表面設(shè)置有清洗液箱(4)，所述裝置主體(1)的上端外表面設(shè)置有蓋板(9)，所述裝置主體(1)與蓋板(9)的連接處設(shè)置有合頁(5)，所述蓋板(9)的前端外表面設(shè)置有手柄(8)，所述蓋板(9)的上端外表面嵌有控制面板(10)，所述控制面板(10)的側(cè)端設(shè)置有一號凹槽(6)，所述一號凹槽(6)的上端設(shè)置有限位架(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述空氣泵(2)的下端固定安裝有固定板，所述固定板的側(cè)端固定嵌于裝置主體(1)的內(nèi)側(cè)，所述裝置主體(1)與空氣泵(2)之間設(shè)置有通氣管，所述通氣管的右側(cè)端固定嵌于空氣泵(2)的內(nèi)側(cè)，所述裝置主體(1)的內(nèi)側(cè)固定安裝有隔板(14)，所述隔板(14)的內(nèi)側(cè)固定安裝有進氣板(11)，所述通氣管的左側(cè)端貫穿于裝置主體(1)與隔板(14)，且固定嵌于進氣板(11)的內(nèi)側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述進氣板(11)的下端對應(yīng)裝置主體(1)的內(nèi)側(cè)固定安裝有超聲波發(fā)生器(12)，所述水泵(3)與裝置主體(1)的連接處設(shè)置有水管，所述水管的右側(cè)端固定嵌于水泵(3)的內(nèi)側(cè)，且水管的右側(cè)端貫穿于裝置主體(1)與隔板(14)，所述水泵(3)與清洗液箱(4)之間固定安裝有水管，所述控制面板(10)固定嵌于蓋板(9)的內(nèi)側(cè)，所述裝置主體(1)的內(nèi)側(cè)對應(yīng)隔板(14)的外表面設(shè)置有電機(13)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述電機(13)的數(shù)量為兩組，且呈對稱排布，所述電機(13)的下端固定安裝有固定板，所述固定板嵌于隔板(14)與裝置主體(1)的內(nèi)側(cè)，所述金屬網(wǎng)板(15)的內(nèi)側(cè)固定安裝有連接軸，所述連接軸的左右側(cè)端均貫穿于隔板(14)，且固定嵌于電機(13)的內(nèi)側(cè)，所述進氣板(11)的上端設(shè)置有若干個氣孔，且呈矩形陣列排布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述金屬網(wǎng)板(15)的上端設(shè)置有固定桿(16)，所述固定桿(16)的左右側(cè)端均嵌于伸縮桿(17)，所述伸縮桿(17)的下端固定安裝有夾具(18)，所述金屬網(wǎng)板(15)的上端外表面設(shè)置有若干網(wǎng)孔，且矩形陣列排布，所述夾具(18)與網(wǎng)孔相互嵌合，所述限位架(7)的下端對應(yīng)一號凹槽(6)的內(nèi)側(cè)固定安裝有支撐桿(20)，所述支撐桿(20)的下端固定設(shè)置有密封板(21)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述蓋板(9)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有凹槽，所述凹槽內(nèi)固定設(shè)置有離子風(fēng)棒(19)，所述凹槽的下端設(shè)置有二號凹槽(22)，所述二號凹槽(22)與密封板(21)相互嵌合，所述支撐桿(20)與一號凹槽(6)的數(shù)量均為兩組，且呈對稱關(guān)系排布，所述支撐桿(20)與一號凹槽(6)相互嵌合。